功能材料与器件学报
功能材料與器件學報
공능재료여기건학보
JOURNAL OF FUNCTIONAL MATERIALS AND DEVICES
2000年
4期
365-368
,共4页
李光平%汝琼娜%李静%何秀坤%王寿寅%陈祖祥
李光平%汝瓊娜%李靜%何秀坤%王壽寅%陳祖祥
리광평%여경나%리정%하수곤%왕수인%진조상
光致发光光谱%砷化镓材料%表征材料%器件
光緻髮光光譜%砷化鎵材料%錶徵材料%器件
광치발광광보%신화가재료%표정재료%기건
研究了扫描光致发光光谱(PL mapping)在表征半绝缘砷化镓(SI-GaAs)材料中的应用,实验结果表明SI-GaAs晶片的PL强度及mapping均匀性对器件性能有着十分密切的关系,所以在为制备器件筛选优质的SI-GaAS材料时,除了电阻率、迁移率、位错密度、碳含量、EL2浓度及其均匀性、晶片表面质量外,PL mapping 也是表征材料质量的一个重要参数.
研究瞭掃描光緻髮光光譜(PL mapping)在錶徵半絕緣砷化鎵(SI-GaAs)材料中的應用,實驗結果錶明SI-GaAs晶片的PL彊度及mapping均勻性對器件性能有著十分密切的關繫,所以在為製備器件篩選優質的SI-GaAS材料時,除瞭電阻率、遷移率、位錯密度、碳含量、EL2濃度及其均勻性、晶片錶麵質量外,PL mapping 也是錶徵材料質量的一箇重要參數.
연구료소묘광치발광광보(PL mapping)재표정반절연신화가(SI-GaAs)재료중적응용,실험결과표명SI-GaAs정편적PL강도급mapping균균성대기건성능유착십분밀절적관계,소이재위제비기건사선우질적SI-GaAS재료시,제료전조솔、천이솔、위착밀도、탄함량、EL2농도급기균균성、정편표면질량외,PL mapping 야시표정재료질량적일개중요삼수.
