强激光与粒子束
彊激光與粒子束
강격광여입자속
HIGH POWER LASER AND PARTICLEBEAMS
2000年
1期
58-60
,共3页
谷渝秋%淳于书泰%李玉同%张启仁%尤永禄
穀渝鞦%淳于書泰%李玉同%張啟仁%尤永祿
곡투추%순우서태%리옥동%장계인%우영록
X光多层膜镜%反射率%激光等离子体
X光多層膜鏡%反射率%激光等離子體
X광다층막경%반사솔%격광등리자체
采用线状激光等离子体作为软X光源,用具有空间分辨的掠入射光栅谱仪对正入射多层膜反射镜进行了反射率测量.谱仪测谱范围20nm～40nm,谱分辨0.05nm,测得50层C/Al反射镜在中心波长28.6nm处反射率为22%±4%,带宽约为2.5nm.
採用線狀激光等離子體作為軟X光源,用具有空間分辨的掠入射光柵譜儀對正入射多層膜反射鏡進行瞭反射率測量.譜儀測譜範圍20nm～40nm,譜分辨0.05nm,測得50層C/Al反射鏡在中心波長28.6nm處反射率為22%±4%,帶寬約為2.5nm.
채용선상격광등리자체작위연X광원,용구유공간분변적략입사광책보의대정입사다층막반사경진행료반사솔측량.보의측보범위20nm～40nm,보분변0.05nm,측득50층C/Al반사경재중심파장28.6nm처반사솔위22%±4%,대관약위2.5nm.
