微电子学
微電子學
미전자학
MICROELECTRONICS
2011年
5期
690-694,699
,共6页
罗俊%秦国林%刘鸿飞%表茂斌%张大明
囉俊%秦國林%劉鴻飛%錶茂斌%張大明
라준%진국림%류홍비%표무빈%장대명
外部电光探测%VLSI%电场空间分辨率%可靠性
外部電光探測%VLSI%電場空間分辨率%可靠性
외부전광탐측%VLSI%전장공간분변솔%가고성
采用极化聚合物电光材料,设计制作出一种结构新颖的亚微米VLSI电路正面入射式外部电光探测器.通过在探测器中引入参考电极,实现了电压的标定测量；利用1 μm线宽指状电极的电场分布,验证了触立式极化聚合物电光探测器对电场具有较高的空间分辨率.实验证明,该新型外部电光探测器的空间分辨率可达0.5 μm,完全满足亚微米电路无损探测的要求.
採用極化聚閤物電光材料,設計製作齣一種結構新穎的亞微米VLSI電路正麵入射式外部電光探測器.通過在探測器中引入參攷電極,實現瞭電壓的標定測量；利用1 μm線寬指狀電極的電場分佈,驗證瞭觸立式極化聚閤物電光探測器對電場具有較高的空間分辨率.實驗證明,該新型外部電光探測器的空間分辨率可達0.5 μm,完全滿足亞微米電路無損探測的要求.
채용겁화취합물전광재료,설계제작출일충결구신영적아미미VLSI전로정면입사식외부전광탐측기.통과재탐측기중인입삼고전겁,실현료전압적표정측량；이용1 μm선관지상전겁적전장분포,험증료촉입식겁화취합물전광탐측기대전장구유교고적공간분변솔.실험증명,해신형외부전광탐측기적공간분변솔가체0.5 μm,완전만족아미미전로무손탐측적요구.
