材料科学与工艺
材料科學與工藝
재료과학여공예
MATERIAL SCIENCE AND TECHNOLOGY
2003年
1期
20-24
,共5页
李光%孙跃%夏立芳%高超
李光%孫躍%夏立芳%高超
리광%손약%하립방%고초
等离子体基离子注入%DLC膜%喇曼光谱%摩擦性能
等離子體基離子註入%DLC膜%喇曼光譜%摩抆性能
등리자체기리자주입%DLC막%나만광보%마찰성능
采用等离子体基离子注入技术在30CrMnSi钢上制备了TiNx/DLC多层膜,通过X射线光电子谱和激光喇曼光谱测试分析了膜的结构特征,TiNx/DLC膜大气下的摩擦性能在球盘式摩擦磨损试验机上进行.结果表明:DLC膜的结构强烈依赖于基板脉冲偏压,-5kV制得的DLC膜具有较多的C-H键结构,因而硬度最低,仅有8.3GPa;而-15kV的DLC膜由于含有较多的sp3键,获得了最高的显微努氏硬度 (23.6GPa).DLC膜与GCr15钢球大气下的摩擦因数为0.17左右,其磨损性能由于TiNx过渡层引入而显著提高.
採用等離子體基離子註入技術在30CrMnSi鋼上製備瞭TiNx/DLC多層膜,通過X射線光電子譜和激光喇曼光譜測試分析瞭膜的結構特徵,TiNx/DLC膜大氣下的摩抆性能在毬盤式摩抆磨損試驗機上進行.結果錶明:DLC膜的結構彊烈依賴于基闆脈遲偏壓,-5kV製得的DLC膜具有較多的C-H鍵結構,因而硬度最低,僅有8.3GPa;而-15kV的DLC膜由于含有較多的sp3鍵,穫得瞭最高的顯微努氏硬度 (23.6GPa).DLC膜與GCr15鋼毬大氣下的摩抆因數為0.17左右,其磨損性能由于TiNx過渡層引入而顯著提高.
채용등리자체기리자주입기술재30CrMnSi강상제비료TiNx/DLC다층막,통과X사선광전자보화격광나만광보측시분석료막적결구특정,TiNx/DLC막대기하적마찰성능재구반식마찰마손시험궤상진행.결과표명:DLC막적결구강렬의뢰우기판맥충편압,-5kV제득적DLC막구유교다적C-H건결구,인이경도최저,부유8.3GPa;이-15kV적DLC막유우함유교다적sp3건,획득료최고적현미노씨경도 (23.6GPa).DLC막여GCr15강구대기하적마찰인수위0.17좌우,기마손성능유우TiNx과도층인입이현저제고.
