核技术
覈技術
핵기술
NUCLEAR TECHNIQUES
2002年
8期
591-596
,共6页
核子微探针%离子束诱导电荷显微术
覈子微探針%離子束誘導電荷顯微術
핵자미탐침%리자속유도전하현미술
离子束诱导电荷显微术(IBIC)是核子微探针显微成像技术的又一新发展,它具有低束流(fA量级)、高效率的特点,已被广泛应用于半导体材料和微电子材料研究中.本文简述了离子束诱导电荷显微术(IBIC)的原理和实验方法,综述了IBIC研究的现状和进展.
離子束誘導電荷顯微術(IBIC)是覈子微探針顯微成像技術的又一新髮展,它具有低束流(fA量級)、高效率的特點,已被廣汎應用于半導體材料和微電子材料研究中.本文簡述瞭離子束誘導電荷顯微術(IBIC)的原理和實驗方法,綜述瞭IBIC研究的現狀和進展.
리자속유도전하현미술(IBIC)시핵자미탐침현미성상기술적우일신발전,타구유저속류(fA량급)、고효솔적특점,이피엄범응용우반도체재료화미전자재료연구중.본문간술료리자속유도전하현미술(IBIC)적원리화실험방법,종술료IBIC연구적현상화진전.
