红外与激光工程
紅外與激光工程
홍외여격광공정
INFRARED AND LASER ENGINEERING
2002年
4期
351-355
,共5页
硅基材料%MEMS%微体缺陷%广义洛仑兹-米氏散射理论%背散射%光强分布分析
硅基材料%MEMS%微體缺陷%廣義洛崙玆-米氏散射理論%揹散射%光彊分佈分析
규기재료%MEMS%미체결함%엄의락륜자-미씨산사이론%배산사%광강분포분석
为实现对硅基材料和MEMS器件内微体缺陷的无损、高效和准确检测,在研究广义洛仑兹-米氏散射理论的基础上,针对硅基材料和MEMS器件的物理特点,对球形缺陷与红外激光相互作用在非垂直方向散射光强分布特点进行了研究和计算机仿真,提出利用红外激光背散射分布分析对硅基材料和MEMS器件内部缺陷进行检测的方法,并通过实验验证了该方法的有效性.
為實現對硅基材料和MEMS器件內微體缺陷的無損、高效和準確檢測,在研究廣義洛崙玆-米氏散射理論的基礎上,針對硅基材料和MEMS器件的物理特點,對毬形缺陷與紅外激光相互作用在非垂直方嚮散射光彊分佈特點進行瞭研究和計算機倣真,提齣利用紅外激光揹散射分佈分析對硅基材料和MEMS器件內部缺陷進行檢測的方法,併通過實驗驗證瞭該方法的有效性.
위실현대규기재료화MEMS기건내미체결함적무손、고효화준학검측,재연구엄의락륜자-미씨산사이론적기출상,침대규기재료화MEMS기건적물리특점,대구형결함여홍외격광상호작용재비수직방향산사광강분포특점진행료연구화계산궤방진,제출이용홍외격광배산사분포분석대규기재료화MEMS기건내부결함진행검측적방법,병통과실험험증료해방법적유효성.
