复旦学报(自然科学版)
複旦學報(自然科學版)
복단학보(자연과학판)
JOURNAL OF FUDAN UNIVERSITY(NATURAL SCIENCE)
2002年
2期
151-155
,共5页
罗永坚%李清华%郑国祥%罗俊一%周泽群%宗祥福
囉永堅%李清華%鄭國祥%囉俊一%週澤群%宗祥福
라영견%리청화%정국상%라준일%주택군%종상복
磷硅玻璃%热脱附谱%残余气体分析
燐硅玻璃%熱脫附譜%殘餘氣體分析
린규파리%열탈부보%잔여기체분석
用热脱附谱(TDS)研究H2O在磷硅玻璃(PSG)中被吸附的问题.PSG是在400℃左右用化学气相淀积(CVD)方法生长的,在生长过程及以后的工序中容易吸收H2O,使器件失效.TDS是由25℃开始以20℃/min均匀升温到800℃获得的.由TDS的残余气体分析(RGA)模式可以推出H2O在PSG中的可能结合形式.建立生长、吸附、扩散和脱附等几个模型,通过实验测量了PSG中脱附的H2O随时间、温度、湿度等环境条件的变化.在vLSI多层布线中这些结果决定了许多工艺参数,如烘烤时间、金属淀积前的等待时间等.
用熱脫附譜(TDS)研究H2O在燐硅玻璃(PSG)中被吸附的問題.PSG是在400℃左右用化學氣相澱積(CVD)方法生長的,在生長過程及以後的工序中容易吸收H2O,使器件失效.TDS是由25℃開始以20℃/min均勻升溫到800℃穫得的.由TDS的殘餘氣體分析(RGA)模式可以推齣H2O在PSG中的可能結閤形式.建立生長、吸附、擴散和脫附等幾箇模型,通過實驗測量瞭PSG中脫附的H2O隨時間、溫度、濕度等環境條件的變化.在vLSI多層佈線中這些結果決定瞭許多工藝參數,如烘烤時間、金屬澱積前的等待時間等.
용열탈부보(TDS)연구H2O재린규파리(PSG)중피흡부적문제.PSG시재400℃좌우용화학기상정적(CVD)방법생장적,재생장과정급이후적공서중용역흡수H2O,사기건실효.TDS시유25℃개시이20℃/min균균승온도800℃획득적.유TDS적잔여기체분석(RGA)모식가이추출H2O재PSG중적가능결합형식.건립생장、흡부、확산화탈부등궤개모형,통과실험측량료PSG중탈부적H2O수시간、온도、습도등배경조건적변화.재vLSI다층포선중저사결과결정료허다공예삼수,여홍고시간、금속정적전적등대시간등.
