真空电子技术
真空電子技術
진공전자기술
VACUUM ELECTRONICS
2002年
2期
30-32
,共3页
季振国%向因%朱玲%王龙成%芮祥新
季振國%嚮因%硃玲%王龍成%芮祥新
계진국%향인%주령%왕룡성%예상신
酞菁铅%气体传感器%瞬态特性
酞菁鉛%氣體傳感器%瞬態特性
태정연%기체전감기%순태특성
通过真空蒸发沉积技术在叉指状电极上制备了酞菁铅薄膜气体传感器.实验发现,酞菁铅薄膜对甲醇和丙酮这两种蒸气具有很高的灵敏度.对于甲醇蒸气,酞菁铅薄膜具有很快的响应速度,吸附和脱附时间只要2～3 s,信号随即趋于稳定.对于丙酮蒸气,在吸附的初试阶段酞菁铅薄膜的响应时间与吸附甲醇蒸气时的相差不大,但酞菁铅薄膜的电阻率在经过这个快速响应变化以后并不趋向一个稳定值而是缓慢上升,最后甚至比吸附前的电阻率略高.通过电阻率-气体吸附时间响应曲线的瞬态特性分析,方便、清楚地区分了甲醇和丙酮两种液体.
通過真空蒸髮沉積技術在扠指狀電極上製備瞭酞菁鉛薄膜氣體傳感器.實驗髮現,酞菁鉛薄膜對甲醇和丙酮這兩種蒸氣具有很高的靈敏度.對于甲醇蒸氣,酞菁鉛薄膜具有很快的響應速度,吸附和脫附時間隻要2～3 s,信號隨即趨于穩定.對于丙酮蒸氣,在吸附的初試階段酞菁鉛薄膜的響應時間與吸附甲醇蒸氣時的相差不大,但酞菁鉛薄膜的電阻率在經過這箇快速響應變化以後併不趨嚮一箇穩定值而是緩慢上升,最後甚至比吸附前的電阻率略高.通過電阻率-氣體吸附時間響應麯線的瞬態特性分析,方便、清楚地區分瞭甲醇和丙酮兩種液體.
통과진공증발침적기술재차지상전겁상제비료태정연박막기체전감기.실험발현,태정연박막대갑순화병동저량충증기구유흔고적령민도.대우갑순증기,태정연박막구유흔쾌적향응속도,흡부화탈부시간지요2～3 s,신호수즉추우은정.대우병동증기,재흡부적초시계단태정연박막적향응시간여흡부갑순증기시적상차불대,단태정연박막적전조솔재경과저개쾌속향응변화이후병불추향일개은정치이시완만상승,최후심지비흡부전적전조솔략고.통과전조솔-기체흡부시간향응곡선적순태특성분석,방편、청초지구분료갑순화병동량충액체.
