低温物理学报
低溫物理學報
저온물이학보
CHINESE JOURNAL OF LOW TEMPERATURE PHYSICS
2002年
1期
74-80
,共7页
李亦宁%冯春木%叶高翔%焦正宽
李亦寧%馮春木%葉高翔%焦正寬
리역저%풍춘목%협고상%초정관
本文研究了不稳定液体基底上溅射金属薄膜的非平衡生长现象.实验发现:此类薄膜的生长速率不再是常数,与基底温度、表面覆盖率密切相关;薄膜的表面形貌受到了基底温度、溅射功率、固体-液体界面性质等因素的复杂影响.分析表明:生长界面的表面张力及其各向异性对薄膜生长过程起着重要的作用.
本文研究瞭不穩定液體基底上濺射金屬薄膜的非平衡生長現象.實驗髮現:此類薄膜的生長速率不再是常數,與基底溫度、錶麵覆蓋率密切相關;薄膜的錶麵形貌受到瞭基底溫度、濺射功率、固體-液體界麵性質等因素的複雜影響.分析錶明:生長界麵的錶麵張力及其各嚮異性對薄膜生長過程起著重要的作用.
본문연구료불은정액체기저상천사금속박막적비평형생장현상.실험발현:차류박막적생장속솔불재시상수,여기저온도、표면복개솔밀절상관;박막적표면형모수도료기저온도、천사공솔、고체-액체계면성질등인소적복잡영향.분석표명:생장계면적표면장력급기각향이성대박막생장과정기착중요적작용.
