测辐射热计的微桥研制和Vox膜成膜研究
측복사열계적미교연제화Vox막성막연구
Preparation of microbridge for microbolometer and the research of vanadium oxides thin films
  • 万方数据
    半导体技术 반도체기술
    SEMICONDUCTOR TECHNOLOGY
    2002年 1期 70-73 ,共4页

    陈建国%郭群英%邢昆山

    진건국%곽군영%형곤산

    测辐射热计%微桥结构%氧化钒薄膜 測輻射熱計%微橋結構%氧化釩薄膜
    측복사열계%미교결구%양화범박막
    介绍了测辐射热汁的工作原理、器件结构的几何形状和研制状况,叙述了测辐射热计材料的特性及制备技术.
    개소료측복사열즙적공작원리、기건결구적궤하형상화연제상황,서술료측복사열계재료적특성급제비기술.
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