纳米技术与精密工程
納米技術與精密工程
납미기술여정밀공정
NANOTECHNOLOGY AND PRECISION ENGINEERING
2006年
2期
115-117
,共3页
曹伟丽%肖诗洲%郭锐%程光华%黄文浩
曹偉麗%肖詩洲%郭銳%程光華%黃文浩
조위려%초시주%곽예%정광화%황문호
飞秒激光%多焦点聚焦%并行加工
飛秒激光%多焦點聚焦%併行加工
비초격광%다초점취초%병행가공
飞秒激光三维微细加工技术具有真三维的制作能力和亚微米的加工分辨率等特点,因此获得越来越多的关注,但其串行工艺加工效率低是其技术难点.为了提高加工效率,搭建了一套飞秒激光并行加工平台,利用微透镜阵列实现飞秒激光分束聚焦,初步实现了双光子微细并行加工,在光敏树脂和玻璃上分别并行加工出多个二维结构,加工单点分辨率达到1.25 μm.针对实验结果,对实验的加工一致性和分辨率进行分析,提出了进一步提高加工效率和加工一致性的方法.
飛秒激光三維微細加工技術具有真三維的製作能力和亞微米的加工分辨率等特點,因此穫得越來越多的關註,但其串行工藝加工效率低是其技術難點.為瞭提高加工效率,搭建瞭一套飛秒激光併行加工平檯,利用微透鏡陣列實現飛秒激光分束聚焦,初步實現瞭雙光子微細併行加工,在光敏樹脂和玻璃上分彆併行加工齣多箇二維結構,加工單點分辨率達到1.25 μm.針對實驗結果,對實驗的加工一緻性和分辨率進行分析,提齣瞭進一步提高加工效率和加工一緻性的方法.
비초격광삼유미세가공기술구유진삼유적제작능력화아미미적가공분변솔등특점,인차획득월래월다적관주,단기천행공예가공효솔저시기기술난점.위료제고가공효솔,탑건료일투비초격광병행가공평태,이용미투경진렬실현비초격광분속취초,초보실현료쌍광자미세병행가공,재광민수지화파리상분별병행가공출다개이유결구,가공단점분변솔체도1.25 μm.침대실험결과,대실험적가공일치성화분변솔진행분석,제출료진일보제고가공효솔화가공일치성적방법.
