上海工程技术大学学报
上海工程技術大學學報
상해공정기술대학학보
JOURNAL OF SHANGHAI UNIVERSITY OF ENGINEERING SCIENCE
2007年
1期
1-6
,共6页
莫尔条纹%三维形貌%测量%图像处理
莫爾條紋%三維形貌%測量%圖像處理
막이조문%삼유형모%측량%도상처리
以微电子基板的三维形貌测量为背景,研究了莫尔条纹精细测量机械量的机理与方法.为微电子基板及其他信息产品(如电视机荫罩)提供非接触、快速和高精度的测量技术.
以微電子基闆的三維形貌測量為揹景,研究瞭莫爾條紋精細測量機械量的機理與方法.為微電子基闆及其他信息產品(如電視機蔭罩)提供非接觸、快速和高精度的測量技術.
이미전자기판적삼유형모측량위배경,연구료막이조문정세측량궤계량적궤리여방법.위미전자기판급기타신식산품(여전시궤음조)제공비접촉、쾌속화고정도적측량기술.
