应用激光
應用激光
응용격광
APPLIED LASER
2008年
2期
120-123
,共4页
刘中凡%郝雪%周松强%朱文选%宋昌烈
劉中凡%郝雪%週鬆彊%硃文選%宋昌烈
류중범%학설%주송강%주문선%송창렬
脉冲激光沉积%镱铒共掺Al2O3薄膜%表面形貌%光致发光
脈遲激光沉積%鐿鉺共摻Al2O3薄膜%錶麵形貌%光緻髮光
맥충격광침적%의이공참Al2O3박막%표면형모%광치발광
用脉冲激光沉积方法,以多靶交替溅射方式,在SiO2/Si基底上沉积镱铒共掺Al2O3光学薄膜,讨论了脉冲激光能量对薄膜沉积速率、表面形貌、光致发光强度的影响.在脉冲激光能量较高条件下制备出的薄膜的光致发光性能较好,脉冲激光能量较低条件下制备出的薄膜的表面形貌较均匀.综合放大器增益系数对光致发光强度和光刻工艺对薄膜表面形貌的要求,薄膜应该在合适的激光能量下制备.脉冲激光溅射沉积方法与中频磁控溅射方法相比,在抑制上转换发光方面具有优越性.
用脈遲激光沉積方法,以多靶交替濺射方式,在SiO2/Si基底上沉積鐿鉺共摻Al2O3光學薄膜,討論瞭脈遲激光能量對薄膜沉積速率、錶麵形貌、光緻髮光彊度的影響.在脈遲激光能量較高條件下製備齣的薄膜的光緻髮光性能較好,脈遲激光能量較低條件下製備齣的薄膜的錶麵形貌較均勻.綜閤放大器增益繫數對光緻髮光彊度和光刻工藝對薄膜錶麵形貌的要求,薄膜應該在閤適的激光能量下製備.脈遲激光濺射沉積方法與中頻磁控濺射方法相比,在抑製上轉換髮光方麵具有優越性.
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