电子器件
電子器件
전자기건
JOURNAL OF ELECTRON DEVICES
2008年
5期
1472-1474,1478
,共4页
赵文彬%陈慧蓉%章晓文%周川淼%于宗光
趙文彬%陳慧蓉%章曉文%週川淼%于宗光
조문빈%진혜용%장효문%주천묘%우종광
热载流子效应%栅氧厚度%模型参数%寿命
熱載流子效應%柵氧厚度%模型參數%壽命
열재류자효응%책양후도%모형삼수%수명
热载流子是器件可靠性研究的热点之一.特别对于亚微米器件,热载流子失效是器件失效的一个最主要方面.通过对这种失效机理及其失效模型的研究,为设计和工艺提供帮助,从而有效降低由热载流子引起的电路失效,提高电路可靠性.本文主要针对几种典型工艺的栅氧厚度(例如:Tox分别为150 (A)、200 (A)、250 (A))的NMOSFET进行加速应力实验,提取寿命模型的相关参数,估算这些器件在正常工作条件下的寿命值,对亚微米工艺器件寿命进行快速评价.
熱載流子是器件可靠性研究的熱點之一.特彆對于亞微米器件,熱載流子失效是器件失效的一箇最主要方麵.通過對這種失效機理及其失效模型的研究,為設計和工藝提供幫助,從而有效降低由熱載流子引起的電路失效,提高電路可靠性.本文主要針對幾種典型工藝的柵氧厚度(例如:Tox分彆為150 (A)、200 (A)、250 (A))的NMOSFET進行加速應力實驗,提取壽命模型的相關參數,估算這些器件在正常工作條件下的壽命值,對亞微米工藝器件壽命進行快速評價.
열재류자시기건가고성연구적열점지일.특별대우아미미기건,열재류자실효시기건실효적일개최주요방면.통과대저충실효궤리급기실효모형적연구,위설계화공예제공방조,종이유효강저유열재류자인기적전로실효,제고전로가고성.본문주요침대궤충전형공예적책양후도(례여:Tox분별위150 (A)、200 (A)、250 (A))적NMOSFET진행가속응력실험,제취수명모형적상관삼수,고산저사기건재정상공작조건하적수명치,대아미미공예기건수명진행쾌속평개.
