强激光与粒子束
彊激光與粒子束
강격광여입자속
HIGH POWER LASER AND PARTICLEBEAMS
2008年
12期
2027-2031
,共5页
李盛印%吴卫东%王锋%王雪敏%唐永建%孙卫国
李盛印%吳衛東%王鋒%王雪敏%唐永建%孫衛國
리성인%오위동%왕봉%왕설민%당영건%손위국
脉冲激光气相沉积%类金刚石薄膜%铁嵌埋%微观结构%电导率
脈遲激光氣相沉積%類金剛石薄膜%鐵嵌埋%微觀結構%電導率
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采用脉冲激光气相沉积方法制备了不同Fe嵌埋浓度的Fe:DLC多层纳米复合薄膜.用X射线光电子能谱仪(XPS)对薄膜的组成成分进行分析.利用透射电子显微镜(TEM)、拉曼光谱、电流一电压曲线研究Fe纳米颗粒嵌埋对薄膜的微观结构及电学性能的影响.XPS和TEM表明,Fe纳米颗粒周期性地均匀地嵌埋在碳薄膜中.拉曼光谱表明薄膜中的C为典型的类金刚石结构,Fe纳米颗粒促进芳香环式结构的形成,薄膜结构的有序度提高.电流一电压曲线表明,Fe纳米颗粒的嵌埋导致薄膜的室温电导率增加.
採用脈遲激光氣相沉積方法製備瞭不同Fe嵌埋濃度的Fe:DLC多層納米複閤薄膜.用X射線光電子能譜儀(XPS)對薄膜的組成成分進行分析.利用透射電子顯微鏡(TEM)、拉曼光譜、電流一電壓麯線研究Fe納米顆粒嵌埋對薄膜的微觀結構及電學性能的影響.XPS和TEM錶明,Fe納米顆粒週期性地均勻地嵌埋在碳薄膜中.拉曼光譜錶明薄膜中的C為典型的類金剛石結構,Fe納米顆粒促進芳香環式結構的形成,薄膜結構的有序度提高.電流一電壓麯線錶明,Fe納米顆粒的嵌埋導緻薄膜的室溫電導率增加.
채용맥충격광기상침적방법제비료불동Fe감매농도적Fe:DLC다층납미복합박막.용X사선광전자능보의(XPS)대박막적조성성분진행분석.이용투사전자현미경(TEM)、랍만광보、전류일전압곡선연구Fe납미과립감매대박막적미관결구급전학성능적영향.XPS화TEM표명,Fe납미과립주기성지균균지감매재탄박막중.랍만광보표명박막중적C위전형적류금강석결구,Fe납미과립촉진방향배식결구적형성,박막결구적유서도제고.전류일전압곡선표명,Fe납미과립적감매도치박막적실온전도솔증가.
