光子学报
光子學報
광자학보
ACTA PHOTONICA SINICA
2010年
9期
1602-1605
,共4页
孙梅%邢素霞%陈媛媛%徐德刚
孫梅%邢素霞%陳媛媛%徐德剛
손매%형소하%진원원%서덕강
亚波长%聚电子束直写系统%H-形空气槽
亞波長%聚電子束直寫繫統%H-形空氣槽
아파장%취전자속직사계통%H-형공기조
利用电子束直写系统和反应离子束刻蚀的方法制作了周期性排列H-形空气槽.样品的参量:金膜的厚度为120 nm,石英基底的厚度0.8 mm(其中有5 nm厚的铬层),样品是由30×30个单个H-形周期排列形成的,总体尺寸为40×40 μm2.每个H-形之间的周期为1.1 μm,H-形的臂长均为500 nm,空气槽的宽度为120 nm.然后用实验的方法测量了在近红外波段的透过曲线,在近红外波段1.6 μm处的透过率约为16.3%,用传输矩阵的方法对H-形空气槽结构进行了理论模拟,实验与理论模拟结果吻合较好.随后研究了当入射光的偏振方向与H-形结构的长轴之间的夹角分别为0°、30°、45°、60°和90°时透过曲线的变化情况.通过实验和理论表明,表面等离子体在这种特殊的结构中仍然存在,并且在光的增强透过起着决定性的作用.
利用電子束直寫繫統和反應離子束刻蝕的方法製作瞭週期性排列H-形空氣槽.樣品的參量:金膜的厚度為120 nm,石英基底的厚度0.8 mm(其中有5 nm厚的鉻層),樣品是由30×30箇單箇H-形週期排列形成的,總體呎吋為40×40 μm2.每箇H-形之間的週期為1.1 μm,H-形的臂長均為500 nm,空氣槽的寬度為120 nm.然後用實驗的方法測量瞭在近紅外波段的透過麯線,在近紅外波段1.6 μm處的透過率約為16.3%,用傳輸矩陣的方法對H-形空氣槽結構進行瞭理論模擬,實驗與理論模擬結果吻閤較好.隨後研究瞭噹入射光的偏振方嚮與H-形結構的長軸之間的夾角分彆為0°、30°、45°、60°和90°時透過麯線的變化情況.通過實驗和理論錶明,錶麵等離子體在這種特殊的結構中仍然存在,併且在光的增彊透過起著決定性的作用.
이용전자속직사계통화반응리자속각식적방법제작료주기성배렬H-형공기조.양품적삼량:금막적후도위120 nm,석영기저적후도0.8 mm(기중유5 nm후적락층),양품시유30×30개단개H-형주기배렬형성적,총체척촌위40×40 μm2.매개H-형지간적주기위1.1 μm,H-형적비장균위500 nm,공기조적관도위120 nm.연후용실험적방법측량료재근홍외파단적투과곡선,재근홍외파단1.6 μm처적투과솔약위16.3%,용전수구진적방법대H-형공기조결구진행료이론모의,실험여이론모의결과문합교호.수후연구료당입사광적편진방향여H-형결구적장축지간적협각분별위0°、30°、45°、60°화90°시투과곡선적변화정황.통과실험화이론표명,표면등리자체재저충특수적결구중잉연존재,병차재광적증강투과기착결정성적작용.
