广东化工
廣東化工
엄동화공
GUANGDONG CHEMICAL INDUSTRY
2010年
9期
81-82
,共2页
单硅烷%制备%歧化法%烷氧基硅烷%三氯硅烷%二氯硅烷%工艺进展
單硅烷%製備%歧化法%烷氧基硅烷%三氯硅烷%二氯硅烷%工藝進展
단규완%제비%기화법%완양기규완%삼록규완%이록규완%공예진전
单硅烷(SiH4)作为一种提供硅组分的气体源,可用于制造多种高纯度晶体硅、非晶硅、氮化硅、氧化硅及金属硅化物,因其高纯度和能够实现精细控制而成为至今为止世界唯一大规模生产粒状高纯硅的中间产物.SiH4的工业合成方法包括硅化镁法、氯硅烷或烷氧基硅烷歧化法、氯硅烷还原法等,重点介绍了用歧化法制备SiH4的工艺,原料可用芳基硅烷、烷氧基硅烷以及氯硅烷等.
單硅烷(SiH4)作為一種提供硅組分的氣體源,可用于製造多種高純度晶體硅、非晶硅、氮化硅、氧化硅及金屬硅化物,因其高純度和能夠實現精細控製而成為至今為止世界唯一大規模生產粒狀高純硅的中間產物.SiH4的工業閤成方法包括硅化鎂法、氯硅烷或烷氧基硅烷歧化法、氯硅烷還原法等,重點介紹瞭用歧化法製備SiH4的工藝,原料可用芳基硅烷、烷氧基硅烷以及氯硅烷等.
단규완(SiH4)작위일충제공규조분적기체원,가용우제조다충고순도정체규、비정규、담화규、양화규급금속규화물,인기고순도화능구실현정세공제이성위지금위지세계유일대규모생산립상고순규적중간산물.SiH4적공업합성방법포괄규화미법、록규완혹완양기규완기화법、록규완환원법등,중점개소료용기화법제비SiH4적공예,원료가용방기규완、완양기규완이급록규완등.
