光学精密工程
光學精密工程
광학정밀공정
OPTICS AND PRECISION ENGINEERING
2011年
3期
515-519
,共5页
激光测量%直线度误差%光线漂移%共路补偿
激光測量%直線度誤差%光線漂移%共路補償
격광측량%직선도오차%광선표이%공로보상
针对影响激光测量直线度误差的主要因素之一激光光线漂移,提出了一种基于共路光线漂移补偿的直线度误差测量方法,给出了具体的测量原理和系统构成.从产生激光光线漂移的几个因素出发,理论分析了所产生的光线漂移对直线度误差测量的影响,建立了相对应的光线漂移补偿模型.结果表明,进行补偿后激光器出射光线引起的光线漂移在X方向的最大漂移量由28.4 μm减少为5.6 μm,Y方向的最大漂移量由21.6 μm减少到5 μm;由温度梯度引起的光线漂移经补偿后最大漂移量由65.7 μm 减少为8.9μm.实验结果与理论分析均表明,该方法能有效减少各种因素引起的光线漂移对直线度测量结果的影响,提高测量直线度误差的准确性.
針對影響激光測量直線度誤差的主要因素之一激光光線漂移,提齣瞭一種基于共路光線漂移補償的直線度誤差測量方法,給齣瞭具體的測量原理和繫統構成.從產生激光光線漂移的幾箇因素齣髮,理論分析瞭所產生的光線漂移對直線度誤差測量的影響,建立瞭相對應的光線漂移補償模型.結果錶明,進行補償後激光器齣射光線引起的光線漂移在X方嚮的最大漂移量由28.4 μm減少為5.6 μm,Y方嚮的最大漂移量由21.6 μm減少到5 μm;由溫度梯度引起的光線漂移經補償後最大漂移量由65.7 μm 減少為8.9μm.實驗結果與理論分析均錶明,該方法能有效減少各種因素引起的光線漂移對直線度測量結果的影響,提高測量直線度誤差的準確性.
침대영향격광측량직선도오차적주요인소지일격광광선표이,제출료일충기우공로광선표이보상적직선도오차측량방법,급출료구체적측량원리화계통구성.종산생격광광선표이적궤개인소출발,이론분석료소산생적광선표이대직선도오차측량적영향,건립료상대응적광선표이보상모형.결과표명,진행보상후격광기출사광선인기적광선표이재X방향적최대표이량유28.4 μm감소위5.6 μm,Y방향적최대표이량유21.6 μm감소도5 μm;유온도제도인기적광선표이경보상후최대표이량유65.7 μm 감소위8.9μm.실험결과여이론분석균표명,해방법능유효감소각충인소인기적광선표이대직선도측량결과적영향,제고측량직선도오차적준학성.
