核聚变与等离子体物理
覈聚變與等離子體物理
핵취변여등리자체물리
NUCLEAR FUSION AND PLASMA PHYSICS
2011年
4期
320-326
,共7页
姚福宝%郝莹莹%张连珠%赵海涛
姚福寶%郝瑩瑩%張連珠%趙海濤
요복보%학형형%장련주%조해도
氢气甚高频容性耦合放电%PIC/MC模拟%H2等离子体
氫氣甚高頻容性耦閤放電%PIC/MC模擬%H2等離子體
경기심고빈용성우합방전%PIC/MC모의%H2등리자체
开发了氢气甚高频(60MHz)容性耦合放电的PIC/MC模型.在模型中考虑了带电粒子(e,H+,H2+,H3+)与H2的21种碰撞反应过程,模拟了氢气甚高频放电射频电场和电势分布以及电子和氢离子(H+,H2+,H3+)粒子密度和平均能量分布,并与频率为13.56MHz的放电结果进行了比较.结果表明,相对于频率13.56MHz的放电,氢气甚高频放电等离子体电势增高,导致两电极附近的电场增强；另外,两鞘层厚度变窄并且电子和H3+离子平均能量减小,其总密度却增加.H3+离子为氢气甚高频放电空间的主要离子,H2+离子密度比H3+离子小约2～3个数量级.
開髮瞭氫氣甚高頻(60MHz)容性耦閤放電的PIC/MC模型.在模型中攷慮瞭帶電粒子(e,H+,H2+,H3+)與H2的21種踫撞反應過程,模擬瞭氫氣甚高頻放電射頻電場和電勢分佈以及電子和氫離子(H+,H2+,H3+)粒子密度和平均能量分佈,併與頻率為13.56MHz的放電結果進行瞭比較.結果錶明,相對于頻率13.56MHz的放電,氫氣甚高頻放電等離子體電勢增高,導緻兩電極附近的電場增彊；另外,兩鞘層厚度變窄併且電子和H3+離子平均能量減小,其總密度卻增加.H3+離子為氫氣甚高頻放電空間的主要離子,H2+離子密度比H3+離子小約2～3箇數量級.
개발료경기심고빈(60MHz)용성우합방전적PIC/MC모형.재모형중고필료대전입자(e,H+,H2+,H3+)여H2적21충팽당반응과정,모의료경기심고빈방전사빈전장화전세분포이급전자화경리자(H+,H2+,H3+)입자밀도화평균능량분포,병여빈솔위13.56MHz적방전결과진행료비교.결과표명,상대우빈솔13.56MHz적방전,경기심고빈방전등리자체전세증고,도치량전겁부근적전장증강；령외,량초층후도변착병차전자화H3+리자평균능량감소,기총밀도각증가.H3+리자위경기심고빈방전공간적주요리자,H2+리자밀도비H3+리자소약2～3개수량급.
