河北工业大学学报
河北工業大學學報
하북공업대학학보
JOURNAL OF HEBEI UNIVERSITY OF TECHNOLOGY
2004年
2期
72-76
,共5页
刘玉岭%檀柏梅%赵之雯%郝子宇
劉玉嶺%檀柏梅%趙之雯%郝子宇
류옥령%단백매%조지문%학자우
硅片%表面活性剂%渗透%分散%清洗
硅片%錶麵活性劑%滲透%分散%清洗
규편%표면활성제%삼투%분산%청세
表面活性剂以其特有的降低表面张力特性、分散悬浮及润湿渗透作用在微电子工业中应用越来越广泛,尤其是在硅材料的切片、磨片、抛光及清洗工艺中的应用已成为减少损伤、缺陷和污染的必不可少的辅助材料.本文主要对表面活性剂的作用机理及对硅表面性能的影响进行分析讨论.
錶麵活性劑以其特有的降低錶麵張力特性、分散懸浮及潤濕滲透作用在微電子工業中應用越來越廣汎,尤其是在硅材料的切片、磨片、拋光及清洗工藝中的應用已成為減少損傷、缺陷和汙染的必不可少的輔助材料.本文主要對錶麵活性劑的作用機理及對硅錶麵性能的影響進行分析討論.
표면활성제이기특유적강저표면장력특성、분산현부급윤습삼투작용재미전자공업중응용월래월엄범,우기시재규재료적절편、마편、포광급청세공예중적응용이성위감소손상、결함화오염적필불가소적보조재료.본문주요대표면활성제적작용궤리급대규표면성능적영향진행분석토론.
