河北大学学报（自然科学版）
河北大學學報（自然科學版）
하북대학학보（자연과학판）
JOURNAL OF HEBEI UNIVERSITY(NATURAL SCIENCE EDITION)
2005年
1期
29-32
,共4页
闫常瑜%周阳%褚立志%武德起%王晓菲%王英龙
閆常瑜%週暘%褚立誌%武德起%王曉菲%王英龍
염상유%주양%저립지%무덕기%왕효비%왕영룡
脉冲激光烧蚀%纳米硅%形貌
脈遲激光燒蝕%納米硅%形貌
맥충격광소식%납미규%형모
采用脉冲激光烧蚀技术在氩气环境下制备了纳米硅薄膜,研究了环境气体压强对纳米硅薄膜表面形貌的影响. 结果表明,当环境气压小于50 Pa时,薄膜表现为常规的量子点镶嵌结构;当环境气压大于50 Pa时,薄膜中出现类网状的絮结构,继续增大氩气压,絮结构逐渐增大,且其隙度增大. 指出该现象与在激光烧蚀过程中纳米硅团簇的形成过程有关.
採用脈遲激光燒蝕技術在氬氣環境下製備瞭納米硅薄膜,研究瞭環境氣體壓彊對納米硅薄膜錶麵形貌的影響. 結果錶明,噹環境氣壓小于50 Pa時,薄膜錶現為常規的量子點鑲嵌結構;噹環境氣壓大于50 Pa時,薄膜中齣現類網狀的絮結構,繼續增大氬氣壓,絮結構逐漸增大,且其隙度增大. 指齣該現象與在激光燒蝕過程中納米硅糰簇的形成過程有關.
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