特种长光栅尺高真空镀膜机的研制
특충장광책척고진공도막궤적연제
Research and manufacture of vacuum depositor with special long optical grating ruler
  • 万方数据
    通用机械 통용궤계
    GENERAL MACHINERY
    2005年 10期 44-46 ,共3页

    柏树%李殿东

    백수%리전동

    高真空%镀膜机%光栅%镀膜工艺 高真空%鍍膜機%光柵%鍍膜工藝
    고진공%도막궤%광책%도막공예
    用于特种长光栅尺镀膜的ZZ-600W高真空蒸发镀膜机的主要技术指标、结构及性能,并给出了典型的镀膜工艺参数.
    용우특충장광책척도막적ZZ-600W고진공증발도막궤적주요기술지표、결구급성능,병급출료전형적도막공예삼수.
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