应用科技
應用科技
응용과기
YING YONG KE JI
2007年
5期
1-3,15
,共4页
TiN薄膜%磁控溅射%显微硬度
TiN薄膜%磁控濺射%顯微硬度
TiN박막%자공천사%현미경도
测试了各种工艺参数下磁控溅射制备TiN薄膜的显微硬度,并研究了TiN薄膜硬度随偏压、N2流量及溅射功率的变化.实验结果表明:N2流量对薄膜性能和结构影响较大,随着N2流量的增加,氮化钛薄膜的硬度先急剧上升,到15 mL/s时达到最大值,然后氮化钛薄膜硬度平缓下降,在无偏压的情况下,氮化钛薄膜的硬度很低,加偏压后,由于离子轰击作用,薄膜硬度增加,但过高的负偏压反而会降低氮化钛薄膜硬度.
測試瞭各種工藝參數下磁控濺射製備TiN薄膜的顯微硬度,併研究瞭TiN薄膜硬度隨偏壓、N2流量及濺射功率的變化.實驗結果錶明:N2流量對薄膜性能和結構影響較大,隨著N2流量的增加,氮化鈦薄膜的硬度先急劇上升,到15 mL/s時達到最大值,然後氮化鈦薄膜硬度平緩下降,在無偏壓的情況下,氮化鈦薄膜的硬度很低,加偏壓後,由于離子轟擊作用,薄膜硬度增加,但過高的負偏壓反而會降低氮化鈦薄膜硬度.
측시료각충공예삼수하자공천사제비TiN박막적현미경도,병연구료TiN박막경도수편압、N2류량급천사공솔적변화.실험결과표명:N2류량대박막성능화결구영향교대,수착N2류량적증가,담화태박막적경도선급극상승,도15 mL/s시체도최대치,연후담화태박막경도평완하강,재무편압적정황하,담화태박막적경도흔저,가편압후,유우리자굉격작용,박막경도증가,단과고적부편압반이회강저담화태박막경도.
