材料研究学报
材料研究學報
재료연구학보
CHINESE JOURNAL OF MATERIALS RESEARCH
2007年
4期
444-448
,共5页
无机非金属材料%液相外延%β-BBO薄膜
無機非金屬材料%液相外延%β-BBO薄膜
무궤비금속재료%액상외연%β-BBO박막
采用液相外延法在掺Sr2+的α-BBO(001)衬底上制备了β-BBO薄膜,研究了制备条件对薄膜质量的影响.结果表明:当生长温度为810 ℃时,转速为300 r/min生长的外延膜具有较高的结晶质量,且随着生长时间的延长,外延膜的结晶质量有所提高.β-BBO薄膜呈c轴高度择优取向,薄膜的双晶摇摆曲线半峰宽值FWHM仅为676.6″,表明β-BBO薄膜较好的结晶质量;在不具备相位匹配的条件下,β-BBO外延膜也能够实现二次谐波输出.
採用液相外延法在摻Sr2+的α-BBO(001)襯底上製備瞭β-BBO薄膜,研究瞭製備條件對薄膜質量的影響.結果錶明:噹生長溫度為810 ℃時,轉速為300 r/min生長的外延膜具有較高的結晶質量,且隨著生長時間的延長,外延膜的結晶質量有所提高.β-BBO薄膜呈c軸高度擇優取嚮,薄膜的雙晶搖襬麯線半峰寬值FWHM僅為676.6″,錶明β-BBO薄膜較好的結晶質量;在不具備相位匹配的條件下,β-BBO外延膜也能夠實現二次諧波輸齣.
채용액상외연법재참Sr2+적α-BBO(001)츤저상제비료β-BBO박막,연구료제비조건대박막질량적영향.결과표명:당생장온도위810 ℃시,전속위300 r/min생장적외연막구유교고적결정질량,차수착생장시간적연장,외연막적결정질량유소제고.β-BBO박막정c축고도택우취향,박막적쌍정요파곡선반봉관치FWHM부위676.6″,표명β-BBO박막교호적결정질량;재불구비상위필배적조건하,β-BBO외연막야능구실현이차해파수출.
