光散射学报
光散射學報
광산사학보
CHINESE JOURNAL OF LIGHT SCATTERING
2007年
3期
248-251
,共4页
林海%袁菁%田晓丽%杨治美%马瑶%龚敏
林海%袁菁%田曉麗%楊治美%馬瑤%龔敏
림해%원정%전효려%양치미%마요%공민
热氧化SiO2%6H-SiC%特征红外反射光谱
熱氧化SiO2%6H-SiC%特徵紅外反射光譜
열양화SiO2%6H-SiC%특정홍외반사광보
C原子的存在,不仅影响SiC热氧化SiO2层与SiC间的界面态,也直接影响SiO2层的结构和致密性.本文用红外光谱对SiC和Si热氧化生长SiO2层进行了研究,分析和讨论SiO2/SiC和SiO2/Si的红外反射光谱特征峰,以及不同的热氧化条件和退火过程对这些谱峰的影响,对SiC热氧化SiO2层质量的光谱学表征进行了初步探讨.
C原子的存在,不僅影響SiC熱氧化SiO2層與SiC間的界麵態,也直接影響SiO2層的結構和緻密性.本文用紅外光譜對SiC和Si熱氧化生長SiO2層進行瞭研究,分析和討論SiO2/SiC和SiO2/Si的紅外反射光譜特徵峰,以及不同的熱氧化條件和退火過程對這些譜峰的影響,對SiC熱氧化SiO2層質量的光譜學錶徵進行瞭初步探討.
C원자적존재,불부영향SiC열양화SiO2층여SiC간적계면태,야직접영향SiO2층적결구화치밀성.본문용홍외광보대SiC화Si열양화생장SiO2층진행료연구,분석화토론SiO2/SiC화SiO2/Si적홍외반사광보특정봉,이급불동적열양화조건화퇴화과정대저사보봉적영향,대SiC열양화SiO2층질량적광보학표정진행료초보탐토.
