粉末冶金材料科学与工程
粉末冶金材料科學與工程
분말야금재료과학여공정
POWDER METALLURGY MATERIALS SCIENCE AND ENGINEERING
2009年
5期
343-346
,共4页
秦明礼%曲选辉%黄化%杜学丽
秦明禮%麯選輝%黃化%杜學麗
진명례%곡선휘%황화%두학려
AlN陶瓷%粉末注射成形%热导率
AlN陶瓷%粉末註射成形%熱導率
AlN도자%분말주사성형%열도솔
氮化铝(AlN)陶瓷具有热导率高、热膨胀系数低、电阻率高等特性以及良好的力学性能,被认为是新一代高性能陶瓷基片和封装的首选材料,为了满足微电子技术发展对微型复杂形状高导热陶瓷零部件用量日益增加的需求,该文作者研究利用粉末注射成形技术制备高导热AlN陶瓷零部件.该技术以AlN粉末为原料,加入5%Y2O3为烧结助剂;选用蜡基粘结剂体系(PW+PP+SA),确定粉末装载量为62%(体积分数),注射温度为160～170℃,注射压力为90～100 MPa;采用溶剂脱脂+热脱脂工艺脱脂;在1850℃流动氮气氛中烧结.所制备出的AIN陶瓷热导率达232.4 W/(m·K).
氮化鋁(AlN)陶瓷具有熱導率高、熱膨脹繫數低、電阻率高等特性以及良好的力學性能,被認為是新一代高性能陶瓷基片和封裝的首選材料,為瞭滿足微電子技術髮展對微型複雜形狀高導熱陶瓷零部件用量日益增加的需求,該文作者研究利用粉末註射成形技術製備高導熱AlN陶瓷零部件.該技術以AlN粉末為原料,加入5%Y2O3為燒結助劑;選用蠟基粘結劑體繫(PW+PP+SA),確定粉末裝載量為62%(體積分數),註射溫度為160～170℃,註射壓力為90～100 MPa;採用溶劑脫脂+熱脫脂工藝脫脂;在1850℃流動氮氣氛中燒結.所製備齣的AIN陶瓷熱導率達232.4 W/(m·K).
담화려(AlN)도자구유열도솔고、열팽창계수저、전조솔고등특성이급량호적역학성능,피인위시신일대고성능도자기편화봉장적수선재료,위료만족미전자기술발전대미형복잡형상고도열도자령부건용량일익증가적수구,해문작자연구이용분말주사성형기술제비고도열AlN도자령부건.해기술이AlN분말위원료,가입5%Y2O3위소결조제;선용사기점결제체계(PW+PP+SA),학정분말장재량위62%(체적분수),주사온도위160～170℃,주사압력위90～100 MPa;채용용제탈지+열탈지공예탈지;재1850℃류동담기분중소결.소제비출적AIN도자열도솔체232.4 W/(m·K).
