传感器与微系统
傳感器與微繫統
전감기여미계통
TRANSDUCER AND MICROSYSTEM TECHNOLOGY
2010年
5期
105-108
,共4页
邬泳%傅星%周志远%刘春阳%孙凤鸣%胡小唐
鄔泳%傅星%週誌遠%劉春暘%孫鳳鳴%鬍小唐
오영%부성%주지원%류춘양%손봉명%호소당
自动调焦%激光加工%图像梯度%图像处理
自動調焦%激光加工%圖像梯度%圖像處理
자동조초%격광가공%도상제도%도상처리
针对现有的纳秒脉冲激光微加工系统,设计了基于图像处理的自动调焦系统.从焦点检测的历史背景出发,结合光学的成像原理,提出了以图像梯度为对焦评价函数的自动调焦技术.把此自动调焦系统应用于原系统中,形成了以控制单元、激光器、机械结构和光路系统为主要组成部分的纳秒脉冲激光微加工系统.通过对加工实验效果和对焦评价函数曲线的对比分析,证实了此调焦系统适用于短脉冲激光加工,从而有效地提高了系统的加工精度和效率.
針對現有的納秒脈遲激光微加工繫統,設計瞭基于圖像處理的自動調焦繫統.從焦點檢測的歷史揹景齣髮,結閤光學的成像原理,提齣瞭以圖像梯度為對焦評價函數的自動調焦技術.把此自動調焦繫統應用于原繫統中,形成瞭以控製單元、激光器、機械結構和光路繫統為主要組成部分的納秒脈遲激光微加工繫統.通過對加工實驗效果和對焦評價函數麯線的對比分析,證實瞭此調焦繫統適用于短脈遲激光加工,從而有效地提高瞭繫統的加工精度和效率.
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