发光学报
髮光學報
발광학보
CHINESE JOURNAL OF LUMINESCENCE
2011年
7期
736-739
,共4页
宿世臣%吕有明%张吉英%申德振
宿世臣%呂有明%張吉英%申德振
숙세신%려유명%장길영%신덕진
氧化锌%等离子体辅助分子束外延%光致发光
氧化鋅%等離子體輔助分子束外延%光緻髮光
양화자%등리자체보조분자속외연%광치발광
利用等离子体辅助分子束外延(P-MBE)设备在蓝宝石衬底上通过改变生长温度,制备了不同的ZnO样品.研究了衬底温度对ZnO的结构、光学和电学性质的影响.样品的晶体结构利用X射线衍射谱进行表征.X射线衍射谱表明,所有的ZnO样品都是(002)取向的六角纤锌矿结构.随着生长温度的升高,X射线的(002)衍射峰的半峰全宽逐渐减小.样品的表面形貌随着衬底的温度改变而变化,在800℃得知了平整的ZnO表面.通过光致发光的实验得知,ZnO的紫外发光随着生长温度的升高,强度逐渐增强.光致发光的来源为ZnO的自由激子发光.在生长温度为800℃时,得到了高质量的ZnO单晶薄膜,X射线衍射峰的最大半峰全宽为0.05°,霍尔迁移率为51 cm2/(V·s),载流子浓度为1.8×1018 cm-3.
利用等離子體輔助分子束外延(P-MBE)設備在藍寶石襯底上通過改變生長溫度,製備瞭不同的ZnO樣品.研究瞭襯底溫度對ZnO的結構、光學和電學性質的影響.樣品的晶體結構利用X射線衍射譜進行錶徵.X射線衍射譜錶明,所有的ZnO樣品都是(002)取嚮的六角纖鋅礦結構.隨著生長溫度的升高,X射線的(002)衍射峰的半峰全寬逐漸減小.樣品的錶麵形貌隨著襯底的溫度改變而變化,在800℃得知瞭平整的ZnO錶麵.通過光緻髮光的實驗得知,ZnO的紫外髮光隨著生長溫度的升高,彊度逐漸增彊.光緻髮光的來源為ZnO的自由激子髮光.在生長溫度為800℃時,得到瞭高質量的ZnO單晶薄膜,X射線衍射峰的最大半峰全寬為0.05°,霍爾遷移率為51 cm2/(V·s),載流子濃度為1.8×1018 cm-3.
이용등리자체보조분자속외연(P-MBE)설비재람보석츤저상통과개변생장온도,제비료불동적ZnO양품.연구료츤저온도대ZnO적결구、광학화전학성질적영향.양품적정체결구이용X사선연사보진행표정.X사선연사보표명,소유적ZnO양품도시(002)취향적륙각섬자광결구.수착생장온도적승고,X사선적(002)연사봉적반봉전관축점감소.양품적표면형모수착츤저적온도개변이변화,재800℃득지료평정적ZnO표면.통과광치발광적실험득지,ZnO적자외발광수착생장온도적승고,강도축점증강.광치발광적래원위ZnO적자유격자발광.재생장온도위800℃시,득도료고질량적ZnO단정박막,X사선연사봉적최대반봉전관위0.05°,곽이천이솔위51 cm2/(V·s),재류자농도위1.8×1018 cm-3.