纳米技术与精密工程
納米技術與精密工程
납미기술여정밀공정
NANOTECHNOLOGY AND PRECISION ENGINEERING
2012年
3期
268-272
,共5页
闪明才%王伟明%马树元%刘霜%谢虎
閃明纔%王偉明%馬樹元%劉霜%謝虎
섬명재%왕위명%마수원%류상%사호
串联柔性机构%伪刚体模型%刚度%最大应力%有限元法
串聯柔性機構%偽剛體模型%剛度%最大應力%有限元法
천련유성궤구%위강체모형%강도%최대응력%유한원법
为提高柔性支承精密定位系统的行程,以传统直圆型柔性铰链为基本单元,提出一种新型大行程串联柔性机构.刚度与最大应力是影响大行程柔性机构性能的两个重要参数.采用伪刚体模型法,结合材料力学相关理论,建立了该柔性机构刚度和最大应力的理论模型.理论计算结果与非线性有限元分析结果相符,证明理论模型的正确性.在此基础之上,分析了大行程串联柔性机构的设计方法,验证了设计实例在大行程内的可靠性.脉冲响应测试实验结果表明由大行程串联柔性机构支承的精密定位系统定位误差不大于60nm.
為提高柔性支承精密定位繫統的行程,以傳統直圓型柔性鉸鏈為基本單元,提齣一種新型大行程串聯柔性機構.剛度與最大應力是影響大行程柔性機構性能的兩箇重要參數.採用偽剛體模型法,結閤材料力學相關理論,建立瞭該柔性機構剛度和最大應力的理論模型.理論計算結果與非線性有限元分析結果相符,證明理論模型的正確性.在此基礎之上,分析瞭大行程串聯柔性機構的設計方法,驗證瞭設計實例在大行程內的可靠性.脈遲響應測試實驗結果錶明由大行程串聯柔性機構支承的精密定位繫統定位誤差不大于60nm.
위제고유성지승정밀정위계통적행정,이전통직원형유성교련위기본단원,제출일충신형대행정천련유성궤구.강도여최대응력시영향대행정유성궤구성능적량개중요삼수.채용위강체모형법,결합재료역학상관이론,건립료해유성궤구강도화최대응력적이론모형.이론계산결과여비선성유한원분석결과상부,증명이론모형적정학성.재차기출지상,분석료대행정천련유성궤구적설계방법,험증료설계실례재대행정내적가고성.맥충향응측시실험결과표명유대행정천련유성궤구지승적정밀정위계통정위오차불대우60nm.
