人工晶体学报
人工晶體學報
인공정체학보
2006年
4期
781-784
,共4页
张群社%陈治明%李留臣%蒲红斌%封先锋%陈曦
張群社%陳治明%李留臣%蒲紅斌%封先鋒%陳晞
장군사%진치명%리류신%포홍빈%봉선봉%진희
SiC%PVT法%磁矢势%焦耳热
SiC%PVT法%磁矢勢%焦耳熱
SiC%PVT법%자시세%초이열
本文采用有限元分析方法系统地研究了大尺寸SiC晶体PVT法生长装置中的加热组件不同的耦合间隙对生长系统中的感应磁场、感生电流和焦耳热的影响;分析比较了取不同的耦合间隙时系统达到热平衡状态所需时间的不同.得出了在中频电源的输出功率和频率都不变的前提下,在线圈匝数已固定的条件下,通过缩小耦合间隙可以提高系统的加热效率,缩短系统达到热平衡状态所需时间的结论.
本文採用有限元分析方法繫統地研究瞭大呎吋SiC晶體PVT法生長裝置中的加熱組件不同的耦閤間隙對生長繫統中的感應磁場、感生電流和焦耳熱的影響;分析比較瞭取不同的耦閤間隙時繫統達到熱平衡狀態所需時間的不同.得齣瞭在中頻電源的輸齣功率和頻率都不變的前提下,在線圈匝數已固定的條件下,通過縮小耦閤間隙可以提高繫統的加熱效率,縮短繫統達到熱平衡狀態所需時間的結論.
본문채용유한원분석방법계통지연구료대척촌SiC정체PVT법생장장치중적가열조건불동적우합간극대생장계통중적감응자장、감생전류화초이열적영향;분석비교료취불동적우합간극시계통체도열평형상태소수시간적불동.득출료재중빈전원적수출공솔화빈솔도불변적전제하,재선권잡수이고정적조건하,통과축소우합간극가이제고계통적가열효솔,축단계통체도열평형상태소수시간적결론.
