人工晶体学报
人工晶體學報
인공정체학보
2007年
1期
89-92
,共4页
孙晓娟%胡礼中%田怡春%张籍权%张红治%梁秀萍%潘石
孫曉娟%鬍禮中%田怡春%張籍權%張紅治%樑秀萍%潘石
손효연%호례중%전이춘%장적권%장홍치%량수평%반석
湿法刻蚀%液相外延%微探尖%扫描近场光学显微术
濕法刻蝕%液相外延%微探尖%掃描近場光學顯微術
습법각식%액상외연%미탐첨%소묘근장광학현미술
报道了一种用于制作扫描近场光学显微术(SNOM)传感头的GaAs微探尖的剥离和转移方法-GaAs衬底选择湿法刻蚀技术.利用扫描电子显微镜对转移后的微探尖进行了表征.结果表明,通过此方法能够成功地将GaAs微探尖转移到目标晶片上,并且在剥离和转移过程中微探尖没有受到损伤.这种技术对实现由带有PIN光探测器的垂直腔面发射激光器与GaAs微探尖的混合集成式SNOM传感头有着非常重要的应用价值.
報道瞭一種用于製作掃描近場光學顯微術(SNOM)傳感頭的GaAs微探尖的剝離和轉移方法-GaAs襯底選擇濕法刻蝕技術.利用掃描電子顯微鏡對轉移後的微探尖進行瞭錶徵.結果錶明,通過此方法能夠成功地將GaAs微探尖轉移到目標晶片上,併且在剝離和轉移過程中微探尖沒有受到損傷.這種技術對實現由帶有PIN光探測器的垂直腔麵髮射激光器與GaAs微探尖的混閤集成式SNOM傳感頭有著非常重要的應用價值.
보도료일충용우제작소묘근장광학현미술(SNOM)전감두적GaAs미탐첨적박리화전이방법-GaAs츤저선택습법각식기술.이용소묘전자현미경대전이후적미탐첨진행료표정.결과표명,통과차방법능구성공지장GaAs미탐첨전이도목표정편상,병차재박리화전이과정중미탐첨몰유수도손상.저충기술대실현유대유PIN광탐측기적수직강면발사격광기여GaAs미탐첨적혼합집성식SNOM전감두유착비상중요적응용개치.
