功能材料
功能材料
공능재료
JOURNAL OF FUNCTIONAL MATERIALS
2007年
6期
1013-1015
,共3页
王明东%朱道云%郑昌喜%何振辉%陈弟虎%闻立时
王明東%硃道雲%鄭昌喜%何振輝%陳弟虎%聞立時
왕명동%주도운%정창희%하진휘%진제호%문립시
真空电弧离子镀%X射线衍射%ZnO薄膜
真空電弧離子鍍%X射線衍射%ZnO薄膜
진공전호리자도%X사선연사%ZnO박막
采用阴极真空电弧离子镀技术在玻璃衬底上制备出了具有择优取向的透明ZnO薄膜. 利用X射线衍射仪、扫描电子显微镜及紫外-可见吸收光谱仪分别对ZnO薄膜的结构、表面形貌及可见光透过率进行了分析.XRD结果表明,所制备的ZnO薄膜具有六角纤锌矿结构的(002)和(101)两种取向,在沉积气压＞1.0Pa时所制备的ZnO薄膜具有(002)择优取向,并且非常稳定.SEM图表明,ZnO晶粒大小较为均匀,晶粒尺寸随着气压升高而变小.在400～1000nm范围内,ZnO薄膜的可见光透过率超过80%,吸收边在370nm附近,所对应的光学带隙约为3.33～3.40eV,并随着沉积气压上升而变大.
採用陰極真空電弧離子鍍技術在玻璃襯底上製備齣瞭具有擇優取嚮的透明ZnO薄膜. 利用X射線衍射儀、掃描電子顯微鏡及紫外-可見吸收光譜儀分彆對ZnO薄膜的結構、錶麵形貌及可見光透過率進行瞭分析.XRD結果錶明,所製備的ZnO薄膜具有六角纖鋅礦結構的(002)和(101)兩種取嚮,在沉積氣壓＞1.0Pa時所製備的ZnO薄膜具有(002)擇優取嚮,併且非常穩定.SEM圖錶明,ZnO晶粒大小較為均勻,晶粒呎吋隨著氣壓升高而變小.在400～1000nm範圍內,ZnO薄膜的可見光透過率超過80%,吸收邊在370nm附近,所對應的光學帶隙約為3.33～3.40eV,併隨著沉積氣壓上升而變大.
채용음겁진공전호리자도기술재파리츤저상제비출료구유택우취향적투명ZnO박막. 이용X사선연사의、소묘전자현미경급자외-가견흡수광보의분별대ZnO박막적결구、표면형모급가견광투과솔진행료분석.XRD결과표명,소제비적ZnO박막구유륙각섬자광결구적(002)화(101)량충취향,재침적기압＞1.0Pa시소제비적ZnO박막구유(002)택우취향,병차비상은정.SEM도표명,ZnO정립대소교위균균,정립척촌수착기압승고이변소.재400～1000nm범위내,ZnO박막적가견광투과솔초과80%,흡수변재370nm부근,소대응적광학대극약위3.33～3.40eV,병수착침적기압상승이변대.
