特种铸造及有色合金
特種鑄造及有色閤金
특충주조급유색합금
SPECIAL CASTING & NONFERROUS ALLOYS
2009年
8期
770-773
,共4页
黄晓辉%左秀荣%王齐伟%李勇
黃曉輝%左秀榮%王齊偉%李勇
황효휘%좌수영%왕제위%리용
直流反应磁控溅射%铝箔%不锈钢%薄膜
直流反應磁控濺射%鋁箔%不鏽鋼%薄膜
직류반응자공천사%려박%불수강%박막
在铝箔表面采用直流反应磁控溅射方法进行溅射试验,在铝箔表面沉积出不锈钢薄膜.采用磨损试验、盐雾试验、显微硬度试验和薄膜厚度测试等方法对试样进行检测,用扫描电镜和金相显微镜对试样表面形貌观察分析.试验结果表明,溅射功率选择在300 W时,在铝箔表面沉积不锈钢薄膜,铝箔表面耐磨性增大,硬度增大,沉积的不锈钢薄膜晶粒尺寸细小、均匀致密,表面呈金属光泽,薄膜与基体结合良好,并具有一定的耐蚀性能.
在鋁箔錶麵採用直流反應磁控濺射方法進行濺射試驗,在鋁箔錶麵沉積齣不鏽鋼薄膜.採用磨損試驗、鹽霧試驗、顯微硬度試驗和薄膜厚度測試等方法對試樣進行檢測,用掃描電鏡和金相顯微鏡對試樣錶麵形貌觀察分析.試驗結果錶明,濺射功率選擇在300 W時,在鋁箔錶麵沉積不鏽鋼薄膜,鋁箔錶麵耐磨性增大,硬度增大,沉積的不鏽鋼薄膜晶粒呎吋細小、均勻緻密,錶麵呈金屬光澤,薄膜與基體結閤良好,併具有一定的耐蝕性能.
재려박표면채용직류반응자공천사방법진행천사시험,재려박표면침적출불수강박막.채용마손시험、염무시험、현미경도시험화박막후도측시등방법대시양진행검측,용소묘전경화금상현미경대시양표면형모관찰분석.시험결과표명,천사공솔선택재300 W시,재려박표면침적불수강박막,려박표면내마성증대,경도증대,침적적불수강박막정립척촌세소、균균치밀,표면정금속광택,박막여기체결합량호,병구유일정적내식성능.
