信息记录材料
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신식기록재료
INFORMATION RECORDING MATERIALS
2009年
6期
20-23
,共4页
吴蓉%李蓉萍%安晓晖%何志刚%李忠贤
吳蓉%李蓉萍%安曉暉%何誌剛%李忠賢
오용%리용평%안효휘%하지강%리충현
ZnSe薄膜%微结构%真空蒸发%掺杂
ZnSe薄膜%微結構%真空蒸髮%摻雜
ZnSe박막%미결구%진공증발%참잡
利用真空蒸发的方法制备ZnSe多晶薄膜,并采用双源法对薄膜进行了稀土元素Nd的掺杂.对薄膜进行了XRD测试,并计算了薄膜的晶粒尺寸、晶格常数以及内应力.结果表明,当原子配比Zn:Se=0.9:1时可制备较理想的Znse多晶薄膜,稀土Nd掺杂并未改变样品的物相结构,掺杂使得薄膜的晶粒尺寸减小,晶胞体积增加,内应力和晶格常数改变.实验还发现,适度的轻掺杂Nd可增加ZnSe薄膜的光透射性.
利用真空蒸髮的方法製備ZnSe多晶薄膜,併採用雙源法對薄膜進行瞭稀土元素Nd的摻雜.對薄膜進行瞭XRD測試,併計算瞭薄膜的晶粒呎吋、晶格常數以及內應力.結果錶明,噹原子配比Zn:Se=0.9:1時可製備較理想的Znse多晶薄膜,稀土Nd摻雜併未改變樣品的物相結構,摻雜使得薄膜的晶粒呎吋減小,晶胞體積增加,內應力和晶格常數改變.實驗還髮現,適度的輕摻雜Nd可增加ZnSe薄膜的光透射性.
이용진공증발적방법제비ZnSe다정박막,병채용쌍원법대박막진행료희토원소Nd적참잡.대박막진행료XRD측시,병계산료박막적정립척촌、정격상수이급내응력.결과표명,당원자배비Zn:Se=0.9:1시가제비교이상적Znse다정박막,희토Nd참잡병미개변양품적물상결구,참잡사득박막적정립척촌감소,정포체적증가,내응력화정격상수개변.실험환발현,괄도적경참잡Nd가증가ZnSe박막적광투사성.
