光学精密工程
光學精密工程
광학정밀공정
OPTICS AND PRECISION ENGINEERING
2010年
9期
1981-1988
,共8页
坐标测量%保形光学%轮廓拼接%轮廓测量%迭代算法
坐標測量%保形光學%輪廓拼接%輪廓測量%迭代算法
좌표측량%보형광학%륜곽병접%륜곽측량%질대산법
针对高陡度保形光学镜面的检测,提出了基于多段拼接的光学镜面坐标测量方法.该方法将保形光学镜面轮廓的测量分割为具有一定重叠区域的数段较短的面形轮廓的测量,通过测量系统与被测工件之间的相对旋转与平移运动调整被测工件的姿态实现分段轮廓的测量.然后使用拼接算法将各段面形轮廓拼接起来,重构出被测工件的面形误差.建立了该坐标测量法的数学模型,提出了基于最小二乘的迭代拼接算法,并在Matlab下对测量算法进行了仿真.开发了高精度的测量试验系统并分别在VC与Matlab下编写了测控软件与数据分析软件.对一口径为120 mm,长径比为1.2的椭球形保形头罩进行了实测试验.仿真与测量试验表明,上述方法能够高精度地重构出面形轮廓,方法简单,实用.
針對高陡度保形光學鏡麵的檢測,提齣瞭基于多段拼接的光學鏡麵坐標測量方法.該方法將保形光學鏡麵輪廓的測量分割為具有一定重疊區域的數段較短的麵形輪廓的測量,通過測量繫統與被測工件之間的相對鏇轉與平移運動調整被測工件的姿態實現分段輪廓的測量.然後使用拼接算法將各段麵形輪廓拼接起來,重構齣被測工件的麵形誤差.建立瞭該坐標測量法的數學模型,提齣瞭基于最小二乘的迭代拼接算法,併在Matlab下對測量算法進行瞭倣真.開髮瞭高精度的測量試驗繫統併分彆在VC與Matlab下編寫瞭測控軟件與數據分析軟件.對一口徑為120 mm,長徑比為1.2的橢毬形保形頭罩進行瞭實測試驗.倣真與測量試驗錶明,上述方法能夠高精度地重構齣麵形輪廓,方法簡單,實用.
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