光子学报
光子學報
광자학보
ACTA PHOTONICA SINICA
2011年
10期
1509-1513
,共5页
结晶质量%多晶金刚石膜%傅里叶变换红外光谱%微喇曼%微波等离子体化学气相沉积法
結晶質量%多晶金剛石膜%傅裏葉變換紅外光譜%微喇曼%微波等離子體化學氣相沉積法
결정질량%다정금강석막%부리협변환홍외광보%미나만%미파등리자체화학기상침적법
研究了化学气相沉积多晶膜的宏观性能(颜色和透光性)与微观性能(结晶质量、相纯度和氢杂质含量)之间的关系,喇曼谱与金刚石膜中氢杂质含量(红外光谱测得)的关联性.给出了根据颜色和透明度来区分样本膜质量的实验依据,颜色较深的膜的结晶质量差、相纯度低、氢杂质含量高,1 332 cm 1金刚石特征喇曼峰强度低,半峰宽大.由于多晶膜生长不均匀性、多晶以及粗糙度的影响,生长面的微喇曼光谱随采样点变化会产生较大的偏差,而光滑生长界面的喇曼光谱随采样点的变化偏差较小,因此生长界面的喇曼光谱更能反映化学气相沉积法制备金刚石膜的整体质量.
研究瞭化學氣相沉積多晶膜的宏觀性能(顏色和透光性)與微觀性能(結晶質量、相純度和氫雜質含量)之間的關繫,喇曼譜與金剛石膜中氫雜質含量(紅外光譜測得)的關聯性.給齣瞭根據顏色和透明度來區分樣本膜質量的實驗依據,顏色較深的膜的結晶質量差、相純度低、氫雜質含量高,1 332 cm 1金剛石特徵喇曼峰彊度低,半峰寬大.由于多晶膜生長不均勻性、多晶以及粗糙度的影響,生長麵的微喇曼光譜隨採樣點變化會產生較大的偏差,而光滑生長界麵的喇曼光譜隨採樣點的變化偏差較小,因此生長界麵的喇曼光譜更能反映化學氣相沉積法製備金剛石膜的整體質量.
연구료화학기상침적다정막적굉관성능(안색화투광성)여미관성능(결정질량、상순도화경잡질함량)지간적관계,나만보여금강석막중경잡질함량(홍외광보측득)적관련성.급출료근거안색화투명도래구분양본막질량적실험의거,안색교심적막적결정질량차、상순도저、경잡질함량고,1 332 cm 1금강석특정나만봉강도저,반봉관대.유우다정막생장불균균성、다정이급조조도적영향,생장면적미나만광보수채양점변화회산생교대적편차,이광활생장계면적나만광보수채양점적변화편차교소,인차생장계면적나만광보경능반영화학기상침적법제비금강석막적정체질량.
