实验力学
實驗力學
실험역학
JOURNAL OF EXPERIMENTAL MECHANICS
2011年
6期
653-656
,共4页
贾海坤%王世斌%李林安%佟景伟
賈海坤%王世斌%李林安%佟景偉
가해곤%왕세빈%리림안%동경위
纳米薄膜%屈曲模式%残余应力
納米薄膜%屈麯模式%殘餘應力
납미박막%굴곡모식%잔여응력
薄膜/基底系统在信息科学以及微电子机械系统中有着十分重要的地位.薄膜中常会有压或拉的残余应力,因此薄膜/基底结构通常是工作在残余应力以及外加应力的联合作用下.根据结构的功用不同,其载荷方式也有不同,从而也导致了不同的破坏模式.压缩载荷下的脱粘屈曲是薄膜基底结构主要的破坏形式之一.本文使用磁控溅射镀膜技术,制作了压缩薄膜试件.选用表面抛光的有机玻璃作为基底,制作了厚度为150nm的铝薄膜和150nm的钛薄膜.在实验中,使用一台光学显微镜观测膜层表面的形貌及其变化.考虑了薄膜在残余应力、外加轴向压应力共同作用下的屈曲破坏模式,并对屈曲的力学行为进行了分析.
薄膜/基底繫統在信息科學以及微電子機械繫統中有著十分重要的地位.薄膜中常會有壓或拉的殘餘應力,因此薄膜/基底結構通常是工作在殘餘應力以及外加應力的聯閤作用下.根據結構的功用不同,其載荷方式也有不同,從而也導緻瞭不同的破壞模式.壓縮載荷下的脫粘屈麯是薄膜基底結構主要的破壞形式之一.本文使用磁控濺射鍍膜技術,製作瞭壓縮薄膜試件.選用錶麵拋光的有機玻璃作為基底,製作瞭厚度為150nm的鋁薄膜和150nm的鈦薄膜.在實驗中,使用一檯光學顯微鏡觀測膜層錶麵的形貌及其變化.攷慮瞭薄膜在殘餘應力、外加軸嚮壓應力共同作用下的屈麯破壞模式,併對屈麯的力學行為進行瞭分析.
박막/기저계통재신식과학이급미전자궤계계통중유착십분중요적지위.박막중상회유압혹랍적잔여응력,인차박막/기저결구통상시공작재잔여응력이급외가응력적연합작용하.근거결구적공용불동,기재하방식야유불동,종이야도치료불동적파배모식.압축재하하적탈점굴곡시박막기저결구주요적파배형식지일.본문사용자공천사도막기술,제작료압축박막시건.선용표면포광적유궤파리작위기저,제작료후도위150nm적려박막화150nm적태박막.재실험중,사용일태광학현미경관측막층표면적형모급기변화.고필료박막재잔여응력、외가축향압응력공동작용하적굴곡파배모식,병대굴곡적역학행위진행료분석.
