物理学报
物理學報
물이학보
2004年
1期
31-36
,共6页
于晓梅%张大成%王丛舜%李婷%阮勇
于曉梅%張大成%王叢舜%李婷%阮勇
우효매%장대성%왕총순%리정%원용
悬臂梁%噪声%灵敏度%最小可探测位移
懸臂樑%譟聲%靈敏度%最小可探測位移
현비량%조성%령민도%최소가탐측위이
为提高悬臂梁的分辨率,实现悬臂梁的多功能性,设计了一种U形阵列式压阻悬臂梁.从理论上对悬臂梁的应力、噪声和灵敏度进行分析,优化了悬臂梁及力敏电阻的几何尺寸.选用多晶硅为力敏材料,基于硅微机械加工技术,制备U形阵列式悬臂梁.测量悬臂梁的噪声及灵敏度,得到多晶硅力敏材料的Hooge因子和应变灵敏度系数,分别为3×10-3和27.在6V偏压和1000Hz测量带宽条件下,计算悬臂梁的最小可探测位移为0.5nm.同时对多晶硅力敏电阻噪声的产生机理进行了探讨.
為提高懸臂樑的分辨率,實現懸臂樑的多功能性,設計瞭一種U形陣列式壓阻懸臂樑.從理論上對懸臂樑的應力、譟聲和靈敏度進行分析,優化瞭懸臂樑及力敏電阻的幾何呎吋.選用多晶硅為力敏材料,基于硅微機械加工技術,製備U形陣列式懸臂樑.測量懸臂樑的譟聲及靈敏度,得到多晶硅力敏材料的Hooge因子和應變靈敏度繫數,分彆為3×10-3和27.在6V偏壓和1000Hz測量帶寬條件下,計算懸臂樑的最小可探測位移為0.5nm.同時對多晶硅力敏電阻譟聲的產生機理進行瞭探討.
위제고현비량적분변솔,실현현비량적다공능성,설계료일충U형진렬식압조현비량.종이론상대현비량적응력、조성화령민도진행분석,우화료현비량급력민전조적궤하척촌.선용다정규위력민재료,기우규미궤계가공기술,제비U형진렬식현비량.측량현비량적조성급령민도,득도다정규력민재료적Hooge인자화응변령민도계수,분별위3×10-3화27.재6V편압화1000Hz측량대관조건하,계산현비량적최소가탐측위이위0.5nm.동시대다정규력민전조조성적산생궤리진행료탐토.
