真空科学与技术学报
真空科學與技術學報
진공과학여기술학보
JOURNAL OF VACUUM SCIENCE AND TECHNOLOGY
2005年
z1期
115-117
,共3页
张晓兵%蒋峻%毛福明%雷威
張曉兵%蔣峻%毛福明%雷威
장효병%장준%모복명%뢰위
残余气体%质谱分析%离子轰击
殘餘氣體%質譜分析%離子轟擊
잔여기체%질보분석%리자굉격
显像管中的残余气体是影响显像管质量和寿命的重要因素,通过四极质谱残余气体分析系统,可以对显像管中的残余气体进行有效的分析,对带消气剂的真空器件,本底要考虑扣除消气剂作用的影响.在此基础上可以进行残余气体离子轰击的计算机模拟研究,并对显像管电子枪进行优化设计.
顯像管中的殘餘氣體是影響顯像管質量和壽命的重要因素,通過四極質譜殘餘氣體分析繫統,可以對顯像管中的殘餘氣體進行有效的分析,對帶消氣劑的真空器件,本底要攷慮釦除消氣劑作用的影響.在此基礎上可以進行殘餘氣體離子轟擊的計算機模擬研究,併對顯像管電子鎗進行優化設計.
현상관중적잔여기체시영향현상관질량화수명적중요인소,통과사겁질보잔여기체분석계통,가이대현상관중적잔여기체진행유효적분석,대대소기제적진공기건,본저요고필구제소기제작용적영향.재차기출상가이진행잔여기체리자굉격적계산궤모의연구,병대현상관전자창진행우화설계.
