低温物理学报
低溫物理學報
저온물이학보
CHINESE JOURNAL OF LOW TEMPERATURE PHYSICS
2006年
3期
224-227
,共4页
孙静%康琳%刘希%赵少奇%吉争鸣%吴培亨%郝西萍
孫靜%康琳%劉希%趙少奇%吉爭鳴%吳培亨%郝西萍
손정%강림%류희%조소기%길쟁명%오배형%학서평
反应离子刻蚀RIE%离子刻蚀%SEM成像
反應離子刻蝕RIE%離子刻蝕%SEM成像
반응리자각식RIE%리자각식%SEM성상
在制备所有的NbN超导隧道结的过程中,为了得到良好的隧道结,刻蚀是很关键的一步,我们对反应离子刻蚀(RIE)和离子刻蚀两种不同的方法进行了研究比较.通过对多层结构用三种不同的方法刻蚀,再进行SEM观察切面图像,发现离子刻蚀出来的薄膜边缘,与离子源与基片摆放的方向有很大的关系,而RIE刻蚀的结区边缘较为平缓且结果稳定,有利于我们制备更好质量的超导隧道结.
在製備所有的NbN超導隧道結的過程中,為瞭得到良好的隧道結,刻蝕是很關鍵的一步,我們對反應離子刻蝕(RIE)和離子刻蝕兩種不同的方法進行瞭研究比較.通過對多層結構用三種不同的方法刻蝕,再進行SEM觀察切麵圖像,髮現離子刻蝕齣來的薄膜邊緣,與離子源與基片襬放的方嚮有很大的關繫,而RIE刻蝕的結區邊緣較為平緩且結果穩定,有利于我們製備更好質量的超導隧道結.
재제비소유적NbN초도수도결적과정중,위료득도량호적수도결,각식시흔관건적일보,아문대반응리자각식(RIE)화리자각식량충불동적방법진행료연구비교.통과대다층결구용삼충불동적방법각식,재진행SEM관찰절면도상,발현리자각식출래적박막변연,여리자원여기편파방적방향유흔대적관계,이RIE각식적결구변연교위평완차결과은정,유리우아문제비경호질량적초도수도결.
