感光科学与光化学
感光科學與光化學
감광과학여광화학
PHOTOGRAPHIC SCIENCE AND PHOTOCHEMISTRY
2007年
5期
357-363
,共7页
回闯%孟庆伟%宫斌%曲景平
迴闖%孟慶偉%宮斌%麯景平
회틈%맹경위%궁빈%곡경평
193nm光刻胶%甲基丙烯酸(2-烷基-2-金刚烷)酯%2-金刚酮%水解
193nm光刻膠%甲基丙烯痠(2-烷基-2-金剛烷)酯%2-金剛酮%水解
193nm광각효%갑기병희산(2-완기-2-금강완)지%2-금강동%수해
甲基丙烯酸(2-甲基-2-金刚烷)酯和甲基丙烯酸(2-乙基-2-金刚烷)酯是两个重要的193 nm光刻胶主体树脂的单体.两个化合物是由2-金刚酮与碘甲烷、碘乙烷的格氏试剂反应得到2-甲基-2-金刚醇、2-乙基-2-金刚醇,然后在氢化钠的作用下与甲基丙烯酰氯发生酯化反应制得.酯化产率50%-60%.产品结构经1HNMR、IR、MS和元素分析表征.在对甲基苯磺酸-水合物的催化作用下对两个单体进行了水解测试,探讨了水解机理,计算出水解速率常数k,k值分别为-1.52和-3.90.
甲基丙烯痠(2-甲基-2-金剛烷)酯和甲基丙烯痠(2-乙基-2-金剛烷)酯是兩箇重要的193 nm光刻膠主體樹脂的單體.兩箇化閤物是由2-金剛酮與碘甲烷、碘乙烷的格氏試劑反應得到2-甲基-2-金剛醇、2-乙基-2-金剛醇,然後在氫化鈉的作用下與甲基丙烯酰氯髮生酯化反應製得.酯化產率50%-60%.產品結構經1HNMR、IR、MS和元素分析錶徵.在對甲基苯磺痠-水閤物的催化作用下對兩箇單體進行瞭水解測試,探討瞭水解機理,計算齣水解速率常數k,k值分彆為-1.52和-3.90.
갑기병희산(2-갑기-2-금강완)지화갑기병희산(2-을기-2-금강완)지시량개중요적193 nm광각효주체수지적단체.량개화합물시유2-금강동여전갑완、전을완적격씨시제반응득도2-갑기-2-금강순、2-을기-2-금강순,연후재경화납적작용하여갑기병희선록발생지화반응제득.지화산솔50%-60%.산품결구경1HNMR、IR、MS화원소분석표정.재대갑기분광산-수합물적최화작용하대량개단체진행료수해측시,탐토료수해궤리,계산출수해속솔상수k,k치분별위-1.52화-3.90.
