南昌大学学报（理科版）
南昌大學學報（理科版）
남창대학학보（이과판）
JOURNAL OF NANCHANG UNIVERSITY(NATURAL SCIENCE)
2008年
2期
170-172,177
,共4页
颜颉颃%彭继霆%周浪%周潘兵%杜国平%苏文华
顏頡頏%彭繼霆%週浪%週潘兵%杜國平%囌文華
안힐항%팽계정%주랑%주반병%두국평%소문화
冶金级硅%太阳能级硅%酸洗%表面吸附
冶金級硅%太暘能級硅%痠洗%錶麵吸附
야금급규%태양능급규%산세%표면흡부
对冶金级硅的物理提纯因可望成为低成本太阳能级硅生产技术而受到各国高度关注.利用硅中杂质的表面吸附偏聚,对冶金级硅粉进行酸洗去吸附除杂.并尝试在此后进行高温退火以再次造成表面扩散偏聚,然后继以二次酸洗去吸附除杂.结果表明这种技术对硅中金属杂质有一定除杂效果,可以作为进一步提纯前的预处理;高温退火后二次酸洗能够进一步降低杂质含量,但效果并不显著,难于生产应用.扩散计算表明,高温退火偏聚处理对较重金属杂质有效,而对B、P杂质则几乎没有效果.
對冶金級硅的物理提純因可望成為低成本太暘能級硅生產技術而受到各國高度關註.利用硅中雜質的錶麵吸附偏聚,對冶金級硅粉進行痠洗去吸附除雜.併嘗試在此後進行高溫退火以再次造成錶麵擴散偏聚,然後繼以二次痠洗去吸附除雜.結果錶明這種技術對硅中金屬雜質有一定除雜效果,可以作為進一步提純前的預處理;高溫退火後二次痠洗能夠進一步降低雜質含量,但效果併不顯著,難于生產應用.擴散計算錶明,高溫退火偏聚處理對較重金屬雜質有效,而對B、P雜質則幾乎沒有效果.
대야금급규적물리제순인가망성위저성본태양능급규생산기술이수도각국고도관주.이용규중잡질적표면흡부편취,대야금급규분진행산세거흡부제잡.병상시재차후진행고온퇴화이재차조성표면확산편취,연후계이이차산세거흡부제잡.결과표명저충기술대규중금속잡질유일정제잡효과,가이작위진일보제순전적예처리;고온퇴화후이차산세능구진일보강저잡질함량,단효과병불현저,난우생산응용.확산계산표명,고온퇴화편취처리대교중금속잡질유효,이대B、P잡질칙궤호몰유효과.
