仪器仪表学报
儀器儀錶學報
의기의표학보
CHINESE JOURNAL OF SCIENTIFIC INSTRUMENT
2010年
11期
2494-2499
,共6页
佘东生%王晓东%张习文%王立鼎
佘東生%王曉東%張習文%王立鼎
사동생%왕효동%장습문%왕립정
MEMS测试%动态特性的测试%高温环境%微悬臂梁%激励装置
MEMS測試%動態特性的測試%高溫環境%微懸臂樑%激勵裝置
MEMS측시%동태특성적측시%고온배경%미현비량%격려장치
对单晶硅微悬臂梁在高温环境下的动态特性进行了理论分析,研制了高温环境下的MEMS动态特性测试系统,采用压电陶瓷作为底座激励装置的驱动源,设计了一个可动的机构,解决了压电陶瓷在高温环境下使用的难题;通过激励装置进行冲击激励,使用激光多普勒测振仪对微悬臂梁的振动响应进行检测,对微悬臂梁受冲击后的时域信号进行分析,获得微悬臂梁的谐振频率.利用研制的高温环境下MEMS动态特性测试系统,在室温至300℃的温度环境下对单晶硅微悬臂梁的动态特性进行了测试,结果表明随着温度的升高其谐振频率会有轻微的减小,验证了理论分析的结果.
對單晶硅微懸臂樑在高溫環境下的動態特性進行瞭理論分析,研製瞭高溫環境下的MEMS動態特性測試繫統,採用壓電陶瓷作為底座激勵裝置的驅動源,設計瞭一箇可動的機構,解決瞭壓電陶瓷在高溫環境下使用的難題;通過激勵裝置進行遲擊激勵,使用激光多普勒測振儀對微懸臂樑的振動響應進行檢測,對微懸臂樑受遲擊後的時域信號進行分析,穫得微懸臂樑的諧振頻率.利用研製的高溫環境下MEMS動態特性測試繫統,在室溫至300℃的溫度環境下對單晶硅微懸臂樑的動態特性進行瞭測試,結果錶明隨著溫度的升高其諧振頻率會有輕微的減小,驗證瞭理論分析的結果.
대단정규미현비량재고온배경하적동태특성진행료이론분석,연제료고온배경하적MEMS동태특성측시계통,채용압전도자작위저좌격려장치적구동원,설계료일개가동적궤구,해결료압전도자재고온배경하사용적난제;통과격려장치진행충격격려,사용격광다보륵측진의대미현비량적진동향응진행검측,대미현비량수충격후적시역신호진행분석,획득미현비량적해진빈솔.이용연제적고온배경하MEMS동태특성측시계통,재실온지300℃적온도배경하대단정규미현비량적동태특성진행료측시,결과표명수착온도적승고기해진빈솔회유경미적감소,험증료이론분석적결과.
