物理学报
物理學報
물이학보
2003年
11期
2923-2928
,共6页
蔡炜颖%李志锋%陆卫%李守荣%梁平治
蔡煒穎%李誌鋒%陸衛%李守榮%樑平治
채위영%리지봉%륙위%리수영%량평치
Raman光谱%Si桥%温度分布%热导
Raman光譜%Si橋%溫度分佈%熱導
Raman광보%Si교%온도분포%열도
采用显微Raman光谱方法对红外目标模拟器中重掺杂Si微电阻桥单元的热传导特性进行研究,根据Si桥的实际特性建立相应的Raman散射模型,通过测量Raman峰位的移动得到高功率激光辐照下测量点的温度.对Si桥桥面分别进行了沿某些特殊线段的逐点线扫描和覆盖全部桥面的面扫描,得到各点的温升及其分布.用基于有限元分析的软件结合Si桥结构参数对各测量点的温升进行了模拟计算,其结果在热导分布的基本趋势上与实验相一致.实验细致地揭示了热导分布的局域起伏,反映出实际器件的不均匀性,为改进器件设计、优化器件性能提供了实验依据.
採用顯微Raman光譜方法對紅外目標模擬器中重摻雜Si微電阻橋單元的熱傳導特性進行研究,根據Si橋的實際特性建立相應的Raman散射模型,通過測量Raman峰位的移動得到高功率激光輻照下測量點的溫度.對Si橋橋麵分彆進行瞭沿某些特殊線段的逐點線掃描和覆蓋全部橋麵的麵掃描,得到各點的溫升及其分佈.用基于有限元分析的軟件結閤Si橋結構參數對各測量點的溫升進行瞭模擬計算,其結果在熱導分佈的基本趨勢上與實驗相一緻.實驗細緻地揭示瞭熱導分佈的跼域起伏,反映齣實際器件的不均勻性,為改進器件設計、優化器件性能提供瞭實驗依據.
채용현미Raman광보방법대홍외목표모의기중중참잡Si미전조교단원적열전도특성진행연구,근거Si교적실제특성건립상응적Raman산사모형,통과측량Raman봉위적이동득도고공솔격광복조하측량점적온도.대Si교교면분별진행료연모사특수선단적축점선소묘화복개전부교면적면소묘,득도각점적온승급기분포.용기우유한원분석적연건결합Si교결구삼수대각측량점적온승진행료모의계산,기결과재열도분포적기본추세상여실험상일치.실험세치지게시료열도분포적국역기복,반영출실제기건적불균균성,위개진기건설계、우화기건성능제공료실험의거.
