探测与控制学报
探測與控製學報
탐측여공제학보
JOURNAL OF DETECTION & CONTROL
2004年
4期
38-41,51
,共5页
微机械加速度计%四梁中心悬臂结构%三明治结构
微機械加速度計%四樑中心懸臂結構%三明治結構
미궤계가속도계%사량중심현비결구%삼명치결구
良好稳定性和大量程设计一直是困扰微惯性加速度计研制的两个难题,文中对影响微加速度计稳定性的主要因素(外置偏压和横向加速度干扰)进行了详细分析,对加速度计各参数对量程的本质影响及其相互关系进行了研究,理论分析和计算机仿真结果表明:根据给出的四梁中心悬臂结构,在典型结构参数下,惯性敏感单元可承受的最大横向加速度达2 000 g以上,采取质量块减薄和打孔并用的方法可以保证加速度计具有70g以上量程.
良好穩定性和大量程設計一直是睏擾微慣性加速度計研製的兩箇難題,文中對影響微加速度計穩定性的主要因素(外置偏壓和橫嚮加速度榦擾)進行瞭詳細分析,對加速度計各參數對量程的本質影響及其相互關繫進行瞭研究,理論分析和計算機倣真結果錶明:根據給齣的四樑中心懸臂結構,在典型結構參數下,慣性敏感單元可承受的最大橫嚮加速度達2 000 g以上,採取質量塊減薄和打孔併用的方法可以保證加速度計具有70g以上量程.
량호은정성화대량정설계일직시곤우미관성가속도계연제적량개난제,문중대영향미가속도계은정성적주요인소(외치편압화횡향가속도간우)진행료상세분석,대가속도계각삼수대량정적본질영향급기상호관계진행료연구,이론분석화계산궤방진결과표명:근거급출적사량중심현비결구,재전형결구삼수하,관성민감단원가승수적최대횡향가속도체2 000 g이상,채취질량괴감박화타공병용적방법가이보증가속도계구유70g이상량정.
