浙江大学学报(工学版)
浙江大學學報(工學版)
절강대학학보(공학판)
JOURNAL OF ZHEJIANG UNIVERSITY (ENGINEERING SCIENCE)
2004年
8期
1067-1071
,共5页
液体基底%薄膜生长%有序结构%内应力
液體基底%薄膜生長%有序結構%內應力
액체기저%박막생장%유서결구%내응력
采用气相沉积的方法在硅油表面成功制备了一种新型的铁薄膜系统,并研究了该薄膜的生长机制及其带状有序结构.实验发现此类铁薄膜的生长机制与沉积在液体基底表面的其他非磁性薄膜的情况类似,即服从二阶段生长模型.沉积结束后,在连续的铁薄膜中,观察到了大尺度的带状有序结构.该有序结构是由一系列长度基本一致而宽度呈特征准周期分布的畴块相互连接而成的.实验表明,该有序结构是由近似自由支撑薄膜的内应力释放引起的局部物质凝聚所致.
採用氣相沉積的方法在硅油錶麵成功製備瞭一種新型的鐵薄膜繫統,併研究瞭該薄膜的生長機製及其帶狀有序結構.實驗髮現此類鐵薄膜的生長機製與沉積在液體基底錶麵的其他非磁性薄膜的情況類似,即服從二階段生長模型.沉積結束後,在連續的鐵薄膜中,觀察到瞭大呎度的帶狀有序結構.該有序結構是由一繫列長度基本一緻而寬度呈特徵準週期分佈的疇塊相互連接而成的.實驗錶明,該有序結構是由近似自由支撐薄膜的內應力釋放引起的跼部物質凝聚所緻.
채용기상침적적방법재규유표면성공제비료일충신형적철박막계통,병연구료해박막적생장궤제급기대상유서결구.실험발현차류철박막적생장궤제여침적재액체기저표면적기타비자성박막적정황유사,즉복종이계단생장모형.침적결속후,재련속적철박막중,관찰도료대척도적대상유서결구.해유서결구시유일계렬장도기본일치이관도정특정준주기분포적주괴상호련접이성적.실험표명,해유서결구시유근사자유지탱박막적내응력석방인기적국부물질응취소치.
