传感器技术
傳感器技術
전감기기술
JOURNAL OF TRANSDUCER TECHNOLOGY
2005年
7期
7-9
,共3页
电化学微细加工%霍尔电流传感器%定位精度
電化學微細加工%霍爾電流傳感器%定位精度
전화학미세가공%곽이전류전감기%정위정도
在虚拟仪器软件平台上研制了电化学微细加工监控系统,系统采用霍尔电流传感器采集加工电流,并实时准确显示过程数据曲线,根据电流突变快速响应,系统的定位精度和重复定位精度均小于5μm.和传统电化学加工控制系统相比,具有硬件简单、灵活性好、性价比高、稳定可靠等特点.
在虛擬儀器軟件平檯上研製瞭電化學微細加工鑑控繫統,繫統採用霍爾電流傳感器採集加工電流,併實時準確顯示過程數據麯線,根據電流突變快速響應,繫統的定位精度和重複定位精度均小于5μm.和傳統電化學加工控製繫統相比,具有硬件簡單、靈活性好、性價比高、穩定可靠等特點.
재허의의기연건평태상연제료전화학미세가공감공계통,계통채용곽이전류전감기채집가공전류,병실시준학현시과정수거곡선,근거전류돌변쾌속향응,계통적정위정도화중복정위정도균소우5μm.화전통전화학가공공제계통상비,구유경건간단、령활성호、성개비고、은정가고등특점.
