电子器件
電子器件
전자기건
JOURNAL OF ELECTRON DEVICES
2006年
3期
639-642
,共4页
陶虎%彭春荣%陈贤祥%白强%陈绍凤%夏善红
陶虎%彭春榮%陳賢祥%白彊%陳紹鳳%夏善紅
도호%팽춘영%진현상%백강%진소봉%하선홍
电场传感器%微加工技术%压电陶瓷
電場傳感器%微加工技術%壓電陶瓷
전장전감기%미가공기술%압전도자
一种新型的,以压电陶瓷条为驱动、硅为屏蔽和感应电极的微型电场传感器.此种传感器利用了新型的电场感应模式,采用微加工技术制造,使其具备体积小、重量轻、功耗低、便于与其它器件集成等特点,而且制作工艺简单,成本较低.本文阐述了此种传感器的工作原理,并通过计算机模拟验证了可行性,同时描述了新型传感器的结构设计和加工工艺过程.实验数据表明,新型电场传感器的分辨率达到250 V/m.
一種新型的,以壓電陶瓷條為驅動、硅為屏蔽和感應電極的微型電場傳感器.此種傳感器利用瞭新型的電場感應模式,採用微加工技術製造,使其具備體積小、重量輕、功耗低、便于與其它器件集成等特點,而且製作工藝簡單,成本較低.本文闡述瞭此種傳感器的工作原理,併通過計算機模擬驗證瞭可行性,同時描述瞭新型傳感器的結構設計和加工工藝過程.實驗數據錶明,新型電場傳感器的分辨率達到250 V/m.
일충신형적,이압전도자조위구동、규위병폐화감응전겁적미형전장전감기.차충전감기이용료신형적전장감응모식,채용미가공기술제조,사기구비체적소、중량경、공모저、편우여기타기건집성등특점,이차제작공예간단,성본교저.본문천술료차충전감기적공작원리,병통과계산궤모의험증료가행성,동시묘술료신형전감기적결구설계화가공공예과정.실험수거표명,신형전장전감기적분변솔체도250 V/m.
