材料开发与应用
材料開髮與應用
재료개발여응용
DEVELOPMENT AND APPLICATION OF MATERIALS
2007年
1期
5-8
,共4页
刘红飞%程晓农%徐桂芳%张志萍%付廷波
劉紅飛%程曉農%徐桂芳%張誌萍%付廷波
류홍비%정효농%서계방%장지평%부정파
Al2O3薄膜%RF磁控溅射%沉积速率%介电损耗%介电常数
Al2O3薄膜%RF磁控濺射%沉積速率%介電損耗%介電常數
Al2O3박막%RF자공천사%침적속솔%개전손모%개전상수
以α-Al2O3为靶材,采用射频磁控溅射法制备了非晶Al2O3薄膜.利用X射线衍射仪、扫描电镜、划痕仪、表面粗糙轮廓仪和阻抗仪研究了不同溅射功率和不同溅射气压对薄膜制备的影响,探索了不同溅射功率下制备的Al2O3薄膜的介电常数和介电损耗与频率的关系.试验结果表明,制备的非晶Al2O3薄膜表面平滑致密;随着工作气压的增加,薄膜沉积速率增加;随着溅射功率的增加,Al2O3薄膜的沉积速率和介电常数逐渐增加、介电损耗逐渐减小;随着频率的增加,Al2O3薄膜的介电常数逐渐减小,高频阶段趋于稳定.
以α-Al2O3為靶材,採用射頻磁控濺射法製備瞭非晶Al2O3薄膜.利用X射線衍射儀、掃描電鏡、劃痕儀、錶麵粗糙輪廓儀和阻抗儀研究瞭不同濺射功率和不同濺射氣壓對薄膜製備的影響,探索瞭不同濺射功率下製備的Al2O3薄膜的介電常數和介電損耗與頻率的關繫.試驗結果錶明,製備的非晶Al2O3薄膜錶麵平滑緻密;隨著工作氣壓的增加,薄膜沉積速率增加;隨著濺射功率的增加,Al2O3薄膜的沉積速率和介電常數逐漸增加、介電損耗逐漸減小;隨著頻率的增加,Al2O3薄膜的介電常數逐漸減小,高頻階段趨于穩定.
이α-Al2O3위파재,채용사빈자공천사법제비료비정Al2O3박막.이용X사선연사의、소묘전경、화흔의、표면조조륜곽의화조항의연구료불동천사공솔화불동천사기압대박막제비적영향,탐색료불동천사공솔하제비적Al2O3박막적개전상수화개전손모여빈솔적관계.시험결과표명,제비적비정Al2O3박막표면평활치밀;수착공작기압적증가,박막침적속솔증가;수착천사공솔적증가,Al2O3박막적침적속솔화개전상수축점증가、개전손모축점감소;수착빈솔적증가,Al2O3박막적개전상수축점감소,고빈계단추우은정.
