计算机仿真
計算機倣真
계산궤방진
COMPUTER SIMULATION
2007年
12期
252-256
,共5页
自动组合装置%佩特里网%建模%仿真
自動組閤裝置%珮特裏網%建模%倣真
자동조합장치%패특리망%건모%방진
半导体制造中的自动组合装置是半导体制造的关键设备和瓶颈设备.对其性能进行量化的直观的分析对于半导体制造的效率和成本预测具有重要意义.文章阐述了如何利用Aarhus大学开发的CPN Tools对单臂双处理仓的自动组合装置建立赋时有色的佩特里网模型.文中按照不同建模思想建立起抽象型和具象型两个结构不同的模型,通过比对进行验证,最后利用CPN Tools自带的仿真功能进行仿真得出模拟运行的结果.文中的研究方法和结论对于复杂的自动组合装置的有色佩特里网的分析具有一定的参考价值.
半導體製造中的自動組閤裝置是半導體製造的關鍵設備和瓶頸設備.對其性能進行量化的直觀的分析對于半導體製造的效率和成本預測具有重要意義.文章闡述瞭如何利用Aarhus大學開髮的CPN Tools對單臂雙處理倉的自動組閤裝置建立賦時有色的珮特裏網模型.文中按照不同建模思想建立起抽象型和具象型兩箇結構不同的模型,通過比對進行驗證,最後利用CPN Tools自帶的倣真功能進行倣真得齣模擬運行的結果.文中的研究方法和結論對于複雜的自動組閤裝置的有色珮特裏網的分析具有一定的參攷價值.
반도체제조중적자동조합장치시반도체제조적관건설비화병경설비.대기성능진행양화적직관적분석대우반도체제조적효솔화성본예측구유중요의의.문장천술료여하이용Aarhus대학개발적CPN Tools대단비쌍처리창적자동조합장치건립부시유색적패특리망모형.문중안조불동건모사상건립기추상형화구상형량개결구불동적모형,통과비대진행험증,최후이용CPN Tools자대적방진공능진행방진득출모의운행적결과.문중적연구방법화결론대우복잡적자동조합장치적유색패특리망적분석구유일정적삼고개치.
